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招標(biāo)代理公司（立即查看） 受業(yè)主單位（立即查看） 委托，于2025-11-03在采購與招標(biāo)網(wǎng)發(fā)布 激光鍍膜系統(tǒng)　　招標(biāo)公告。現(xiàn)邀請全國供應(yīng)商參與投標(biāo)，有意向的單位請及時(shí)聯(lián)系項(xiàng)目聯(lián)系人參與投標(biāo)。 一、項(xiàng)（略）二、招標(biāo)編號：S（略）三、招標(biāo)人：（略）地址：（略）聯(lián)系人：（略）數(shù)量、主要性能參數(shù)基本要求本項(xiàng)目共（略）3標(biāo)段，所有標(biāo)段可兼投兼中。供應(yīng)商可選擇參與其中一個(gè)或多個(gè)標(biāo)段投標(biāo)，也可參與全部標(biāo)段投標(biāo)。標(biāo)段1：電子束真空鍍膜機(jī)（預(yù)算金額為（略））標(biāo)段2：高能脈沖磁控濺射鍍膜機(jī)（預(yù)算金額為（略））標(biāo)段3：真空紫外熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)（預(yù)算金額為（略））第一標(biāo)段　電子束真空鍍膜機(jī)　　1臺1.?真空室箱式前開門結(jié)構(gòu)，內(nèi)腔直徑大于等于（略）mm，不銹鋼材料。2.?配行星工件架和平盤，轉(zhuǎn)速可調(diào)，最高可達(dá)（略）轉(zhuǎn)（略）鐘,3個(gè)行星盤，單個(gè)最大載重量（略）Kg,工件豎直方向的位移量不超過1mm。3.?極限真空優(yōu)于5×（略）-5Pa，從大氣抽至工作真空2×（略）-3Pa時(shí)間小于（略）鐘。漏氣率低于9×（略）-5Pa.m3秒4.?烘烤溫度可調(diào)，最高大于（略）℃，溫度均勻性（略）℃±（略）℃（（略）鐘）。5.?配光學(xué)膜厚監(jiān)控儀，波長范圍：（略）nm-（略）nm，光控精度優(yōu)于0.5%,（略）點(diǎn)監(jiān)控篇旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，監(jiān)控片最高加熱溫度（略）℃6.?電子槍2套，（略），加速電壓4kV~（略）kV連續(xù)可調(diào)，放射電流0~1A連續(xù)可調(diào)，最大輸出功率（略）kW。配環(huán)形坩堝和點(diǎn)式坩堝。7.?配干泵，低溫泵，低溫冷凝器。8.（略）柵尺寸大于（略）cm，射頻功率不低于（略）W，加速電壓（略）V~（略）V可調(diào)，最大束電流不小于（略）mA。9（略）：壓力范圍6.6×（略）-2?3.0×（略）-3Pa。（略）.配水晶體膜厚監(jiān)控3（略）和各坩堝上方。（略）。（略）。（略）。（略）.膜厚均勻性，（略）mm×（略）mm光學(xué)（略）件鍍膜均勻（略）　高能脈沖磁控濺射鍍膜機(jī)　　1臺1.?真空腔室尺寸≥Ф（略）*（略）mm。2.靶材樣品面積：φ（略）mm。3.?可濺射材料：金屬、氧化物、氮化物、半導(dǎo)體。4.極限真空度≤6.6×（略）-6Pa。抽速：短時(shí)間暴露大氣環(huán)境，（略）min內(nèi)真空度≤7×（略）-4Pa，保壓：停泵（略）h后≤0.9Pa。5.濺射靶頭數(shù)量5個(gè)，靶頭可適配射頻、直流、高能脈沖、偏壓四種電源。6.最高加熱溫度≥（略）℃，長期工作溫度≥（略）℃，溫控精度±3℃。7.濺射電源種類：2個(gè)直流電源:輸出功率≥（略）W，連續(xù)工作時(shí)間≥3h；1個(gè)脈沖偏壓電源：≥-（略）V1A；2個(gè)射頻電源：輸出功率≥（略）W，連續(xù)工作時(shí)間≥5h，頻率全自動(dòng)匹配；1個(gè)高能脈沖電源；高能脈沖電源：1臺，DC輸入功率（略）W，脈沖輸出功率+-（略）KWpeak，工作頻率DC-（略）kHz，開啟和關(guān)斷時(shí)間≥5μsTON+TOFF≥（略）μs，抑弧時(shí)間≤2μs，抑弧重啟時(shí)間（略）μs?（略）μs。8.共焦磁控濺射靶（濺射靶（略）度可調(diào)），（略）布在一個(gè)圓周上，各靶可獨(dú)立順次共同工作。9.靶在下，待沉積樣品在下，從下往上沉積。（略）.基板數(shù)不少于5組，基板尺寸不小于（略）mm×（略）mm，公自轉(zhuǎn)動(dòng)軸位5組；每個(gè)工位均可進(jìn)行獨(dú)立加熱，基片通過加熱絲加熱方式，加熱爐加熱溫度：室溫～（略）°C，加熱電源配備控溫表，控溫方式為PID自動(dòng)控溫及數(shù)字顯示。（略）.（略）數(shù)量3（略），（略）最大流量≥（略）sccm，包括氧氣、氬氣、氮?dú)狻＃裕?（略）卡套、壓墊、管接頭等3套。（略）.設(shè)備在抽真空、濺射等全過程有計(jì)算機(jī)全（略）。（略）.設(shè)備配備工業(yè)屏，可對全工藝、全動(dòng)作、全功能的執(zhí)行過程中的數(shù)據(jù)，流程，報(bào)警等信息進(jìn)行顯示，并可對設(shè)備相關(guān)部件進(jìn)行操作。（略）對超溫、超壓、停水、停電和設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)下的突發(fā)故障或異常情況做出聲光報(bào)警、自鎖或互鎖，保護(hù)等動(dòng)作。（略）.（略）。（略）.設(shè)備驗(yàn)證驗(yàn)收要求鍍膜指標(biāo)：實(shí)現(xiàn)鍍制二氧化鉿薄膜，厚度（略）nm，片內(nèi)均勻性≤±2%，片間均勻性≤±2%；實(shí)現(xiàn)鍍制鋁薄膜，厚度（略）nm，片內(nèi)均勻性≤±1%，片間均勻性≤±1%。測試方法（略）使用臺階儀或SEM測試。（略）.質(zhì)保期不少于（略）年。第三標(biāo)段　真空紫外熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)1臺（一）.???真空室1.?材質(zhì)為不銹鋼，真空室內(nèi)表面必須電拋光處理。2.配置真空冷泵，抽速（略）Ls。3.?配置干泵前級泵，可保障抽氣8（略）鐘內(nèi)打開高閥。4（略）包括3（略）皮拉尼熱偶低真空計(jì)，1（略）電離高真空計(jì)。5.配置水冷式防污護(hù)板4件，水冷百葉窗2件。6.?4個(gè)行星工件盤，材質(zhì)為不銹鋼，行星盤直徑（略）mm，1套四片。7.采用氮化硅陶瓷板輻射加熱，陶瓷板采用觸點(diǎn)連接，無鏈接線纜；烘烤位置及輻照方向可調(diào)。加熱溫度：（略）℃（略）鐘以內(nèi)。8.極限真空度p≤2.0×（略）-7mbar。9.?抽氣速率，抽氣（略）鐘后真空度1.0×（略）-5mbar。（略）.采用防湍流真空抽氣，主（略）采用全新（略）mm（略）高品質(zhì)無油（略）閥，低溫泵、預(yù)抽使用高品質(zhì)（略）閥。（略）.破空采用防湍流破空，采用2件高品質(zhì)（略）閥破空。（（略）要求1.?電子槍槍頭兩件，DN（略）安裝法蘭，主要部件材質(zhì)為無氧銅，水冷、高壓源、控制電流直接通過法蘭進(jìn)入，真空室內(nèi)部無裸露線纜設(shè)計(jì)，高壓連接和掃描線圈連接內(nèi)隱處理。2.高壓單（略）基座，坩堝基座，掃描單（略）基座水冷。3.配置高壓電源，（略）KV1A高壓電源采用開關(guān)電源；具有過流，超溫，打火等報(bào)警信號。4.?配置兩套燈絲變壓器，（略）別供給兩個(gè)電子槍槍頭，兩個(gè)槍頭可獨(dú)立運(yùn)行，燈絲變壓器置于電子槍附近，燈絲變壓器的高壓輸入輸出采用內(nèi)插式電氣連接方式。5.?阻蒸電流（略）A，供應(yīng)4（略）阻蒸，由鍍膜（略）控制實(shí)現(xiàn)自動(dòng)鍍膜功能。6.?阻蒸電極帶水冷，水冷延伸至真空室內(nèi)部，直至蒸發(fā)舟壓塊位置。7.?提供安裝和（略）兼容服務(wù)，使電子槍和阻蒸可以由鍍膜（略）控制實(shí)現(xiàn)自動(dòng)鍍膜功（略）要求1.?具備打火抑制功能；可抗擊（略）沖擊，（略）取消后輸出恢復(fù)時(shí)間＜2ms。2.?離子能量范圍：最?。裕〆V，最大（略）eV以上，穩(wěn)定工作電（略）m高度，直徑（略）cm（略）域內(nèi)最大需達(dá)到0.（略）mAcm2。5.?能承受高氧氣工藝，最大充氧量不小于（略）sccm。6.?真空密封性2.0×（略）-7mbar（四）工藝要求1.設(shè)備完成過國際上（略）nm或者（略）nm激光薄膜的制備。2.?交付時(shí)完成工藝如下：（略）nm透過率（略）.6%，（略）nm透過率（略）.8%。（五）質(zhì)保期不少于（略）年。五、評（略）標(biāo)準(zhǔn)本次招標(biāo)采用綜合評（略）法，總（略）為（略）。本評（略）標(biāo)準(zhǔn)適用于所有標(biāo)段，具體內(nèi)容如下：（一）針對中小企業(yè)、殘疾人福利企業(yè)和監(jiān)獄企（略）采購促進(jìn)中小企業(yè)發(fā)展管理辦法》（財(cái)庫〔（略）〕（略）號）、（略）采購支持中小企業(yè)力度的通知》（蘇財(cái)購〔（略）〕（略）號（略）采購政策的通知》（（略）采購支持監(jiān)獄企業(yè)發(fā)展有關(guān)問題的通知》（財(cái)庫〔（略）〕（略）號）的有關(guān)規(guī)定，對于符合上述文件規(guī)定情形的小微企業(yè)、殘疾人福利性單位及監(jiān)獄企業(yè)報(bào)價(jià)給予（略）%的扣除，用扣除后的價(jià)格參與評審，如扣除后的價(jià)格為最低價(jià)的，則作為評標(biāo)基準(zhǔn)價(jià)，中標(biāo)金額則以實(shí)際投標(biāo)報(bào)價(jià)為準(zhǔn)。殘疾人福利性單位屬于小型、微型企業(yè)的，不重復(fù)享受政策。小微企業(yè)提供《中小企業(yè)聲明函》；監(jiān)獄企業(yè)（略）級以上（略）、（略）（含新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)）出具的屬于監(jiān)獄企業(yè)的證明文件；殘疾人福利性單位提供《殘疾人福利性單位聲明函》。注：①填報(bào)“中小企業(yè)聲明函”需嚴(yán)格按“工信部聯(lián)企業(yè)〔（略）〕（略）號通知中的《中小企業(yè)劃型標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定》進(jìn)行。②若供應(yīng)商提供的聲明函或（略）采（略）監(jiān)管（略）采購促進(jìn)中小企業(yè)發(fā)展管理辦法》（財(cái)庫〔（略）〕（略）號）及《中小企業(yè)劃型標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定》（工信部聯(lián)企業(yè)〔（略）〕（略）號），本采購標(biāo)的對應(yīng)的中小企業(yè)劃（略）標(biāo)準(zhǔn)所屬行業(yè)（略）工業(yè)。（二）技術(shù)參數(shù)、配置及（略）體綜合性能（略）（（略））1．技術(shù)參數(shù)及配置（（略））以供應(yīng)商提供的能直接反映該產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)的彩頁或產(chǎn)品說明書等作為主要評判依據(jù)，其他情況由評標(biāo)委員會(huì)根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行評判。（1）所提供產(chǎn)品多項(xiàng)不滿足招標(biāo)公告要求（偏離），或參數(shù)偏離超出用戶教學(xué)、科研可接受范圍的，經(jīng)評標(biāo)委員會(huì)評審可作為無效響應(yīng)文件。（2）所提供產(chǎn)品不滿足招標(biāo)公告要求（偏離）、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏項(xiàng)的，每處扣2（略）。2．綜合性能情況（（略））（1）所提供產(chǎn)品性能參數(shù)優(yōu)于招標(biāo)文件中技術(shù)要求情況（評標(biāo)委員會(huì)認(rèn)為超出指標(biāo)有意義的）（6（略））。其中優(yōu)于項(xiàng)，每處加2（略）。（2）所提供（略）場反饋情況（9（略））。根據(jù)所提供產(chǎn)品的品牌影響力、（略）場占有率（同行業(yè)為主）、現(xiàn)有用戶的反饋情況、使用提供產(chǎn)品發(fā)表的學(xué)術(shù)論文情況等綜合評定。（三）價(jià)格（略）（（略））1．基準(zhǔn)價(jià)：滿足招標(biāo)文件要求且價(jià)格最低的報(bào)價(jià)為基準(zhǔn)價(jià)，基準(zhǔn)價(jià)為滿（略）。2．其他供應(yīng)商的報(bào)價(jià)得（略）按照下列公式計(jì)算：報(bào)價(jià)得（略）＝（基準(zhǔn)價(jià)／報(bào)價(jià)）×（略）。（（略）（（略））1．綜合實(shí)力（2（略））根據(jù)供應(yīng)商綜合實(shí)力評定。2．售后服務(wù)與培訓(xùn)情況等（（略））（1）質(zhì)保期（3（略））。符合招標(biāo)文件要求的，得1（略），每增加一年質(zhì)保期加1（略）。（2）服務(wù)、技術(shù)支持與培訓(xùn)承諾情況（7（略））。根據(jù)招標(biāo)文件（略）點(diǎn)設(shè)置情況、服務(wù)響應(yīng)時(shí)間、現(xiàn)有用戶對產(chǎn)品售后服務(wù)情況及服務(wù)水平的反饋等綜合評定。3．其它優(yōu)惠措施等（3（略））根據(jù)供應(yīng)商提供的在招標(biāo)文件要求范圍以外，評標(biāo)委員會(huì)認(rèn)可的優(yōu)惠措施綜合評定。六、本次招標(biāo)采用一次性報(bào)價(jià)。報(bào)價(jià)應(yīng)包括稅金、國際國內(nèi)運(yùn)輸費(fèi)、保險(xiǎn)和其他為完成本項(xiàng)目所發(fā)生的一切費(fèi)用。七、供應(yīng)商資質(zhì)要求（一）一般資格條件1.具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力2.具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度3.具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力4.有依法繳納稅收和社會(huì)保障資金的良好記錄5.近三年內(nèi)，在經(jīng)營活動(dòng)中沒有重大違法記錄6.本項(xiàng)目不（略）采購政策需滿足的資格要求：無。八、投標(biāo)文件的組成（一）投標(biāo)文件一1.投標(biāo)函2.投標(biāo)報(bào)價(jià)表3.詳細(xì)配置及（略）項(xiàng)報(bào)價(jià)清單（二）投標(biāo)文件二（文件中不得出現(xiàn)所投產(chǎn)品報(bào)價(jià)及配置（略）項(xiàng)報(bào)價(jià)，否則作廢標(biāo)處理）1.投標(biāo)基本情況一覽表2.詳細(xì)配置清單、技術(shù)規(guī)格偏離表和投標(biāo)儀器設(shè)備彩頁3.技術(shù)方案、服務(wù)承諾、培訓(xùn)承諾4.資格證明文件5.《中小企業(yè)聲明函》或《殘疾人福利性單位聲明函》（略）級以上（略）、（略）（含新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)）出具的屬于監(jiān)獄企業(yè)的證明文件（如有）6.投標(biāo)人認(rèn)為應(yīng)提供的其他材料特別說明：1.“投標(biāo)文件一”和“投標(biāo)文件二”應(yīng)（略）別裝訂和密封，并加蓋投標(biāo)單位公章2.“投標(biāo)文件一”，正本一份“投標(biāo)文件二”，正本一份，副本五份3.相關(guān)材料及填寫規(guī)范按照《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》第三條“投標(biāo)文件”中的具體要求執(zhí)行九、貨物交貨期、交貨地點(diǎn)、付款方式、安裝、調(diào)試、驗(yàn)收以及售后服（略）要求，按照《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》第（略）條中的要求執(zhí)行。十、各投標(biāo)人在投標(biāo)前，須認(rèn)真閱讀《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》和本招標(biāo)公告，完全了解并接受其所有條款及要求，并在（略）年（略）月（略）日（略）：（略）前將（略）函（略）文件相關(guān)事宜：（一）順豐快遞（建議優(yōu)先采用）1.寄達(dá)時(shí)間：（略）年（略）月（略）日（略）：（略）