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招標(biāo)代理公司（立即查看） 受業(yè)主單位（立即查看） 委托，于2025-10-31在采購(gòu)與招標(biāo)網(wǎng)發(fā)布 CVD設(shè)備　　招標(biāo)公告。現(xiàn)邀請(qǐng)全國(guó)供應(yīng)商參與投標(biāo)，有意向的單位請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系項(xiàng)目聯(lián)系人參與投標(biāo)。 一、項(xiàng)目名稱：CVD設(shè)備二、（略）能參數(shù)要求CVD設(shè)備1臺(tái)（一）主要技術(shù)參數(shù)及配置要求1.設(shè)備技術(shù)要求：設(shè)備所有（略）部件和各種儀表的計(jì)量單位應(yīng)全部采用國(guó)際單位（SI）標(biāo)準(zhǔn)。2.工藝要求：工藝氣體主要包括HCl、H2及Ar等，應(yīng)具備防腐蝕及防爆功能。3.內(nèi)置高溫反應(yīng)器3.1有（略）尺寸：≥（略）mm×（略）mm（直徑×高）。3.2工作溫度范圍：（略）℃～（略）℃。3.3在（略）℃工作溫度范圍能連續(xù)工作。3.4最高溫度：（略）℃。3.5溫度均勻性：±5℃。3.6爐溫均勻性測(cè)試，校溫點(diǎn)為（略）℃、（略）℃、（略）℃。3.7泄漏率：≤0.5mbarh。3.8泄漏率檢測(cè)包括高溫反應(yīng)器、三氯化鋁發(fā)生器、混合室及匯流排。3.9極限真空度：≤1mbar（0.（略）h內(nèi)）。3.（略）最大裝載量：≥（略）kg。3.（略）沉積速率：沉積速率：≥（略）μmh，（略）涂層厚度偏差≤（略）μm、外表面涂層厚度偏差≤（略）μm。4.高溫反應(yīng)器4.1用于生成高溫高活性次氯化鋁反應(yīng)物質(zhì)的密閉容器，在工件表面生成沉積涂層。包括抗高溫變形的罐體、帶冷卻水套的下法蘭、熱電偶、SAT及（略）、密封槽、安全鎖緊裝置等。4.2配置2套，采用lnconel（略）材質(zhì)、厚度不小于8mm鋼板卷制焊接罐體。4.3基于PLC及溫控模塊可實(shí)現(xiàn)高溫反應(yīng)器內(nèi)部5（略）控溫，每個(gè)獨(dú)（略）應(yīng)有控溫和超溫報(bào)警熱電偶，并設(shè)有TUS和SAT熱電偶接口（略）應(yīng)高度集成。4.4設(shè)備可增加單獨(dú)真空泵用于工（略）涂層沉積。4.5內(nèi)置高溫反應(yīng)器在工藝溫度時(shí)壓力在（略）mbar～（略）mbar范圍內(nèi)可調(diào)，可高效率低成本同時(shí)在（略）沉積涂層。5.外置低溫反應(yīng)器：用于制備低活性三氯化鋁氣體和其他不少于3種活性（略）素。由工藝氣體管線（包括HCl、H2和Ar氣體）、（略）控溫的加熱模塊、氣體發(fā)生器等組成。6.石墨坩堝及組合件：石墨坩堝、隔圈及支撐件等承力部件采用高密度石墨制成；其余石墨組件（隔熱）采用輕質(zhì)、低密度石墨制成。7.鐘罩式加熱爐7.1用于對(duì)高溫反應(yīng)器的加熱。7.2加熱速率：從室溫到（略）℃≤3h。7.3（略）：采用知名品牌工藝控制（略），5（略）獨(dú)立控溫，（略）設(shè)置獨(dú)立控溫模塊、測(cè)溫及報(bào)警熱電偶的快速連接裝置。7.4電阻絲：模塊化的知名品牌電阻絲。耐火材料：模塊化氧化鋁磚，密度≤（略）kgm3?？傊亓浚骸?.8噸。爐體表面溫度：工作狀態(tài)下，爐體外表面溫度≤（略）℃。7.5變壓器：輸出電壓（略）V±5V。7.6具有防變形，抗熱疲勞和熱老化性能，結(jié)構(gòu)便于更換。8.冷卻塔：由移（略）構(gòu)成，具備抗高溫變形和防燙傷功能的雙層壁設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高溫反應(yīng)器外壁的強(qiáng)制風(fēng)冷。9（略）：（略），對(duì)低溫反應(yīng)器、高溫反應(yīng)器、冷阱、各類氣體匯流排、混合室及相關(guān)管線抽真空。與工藝控制（略）相匹配，實(shí)現(xiàn)邏輯互鎖。（略）.氣體流（略）.1基于模擬量的MFC，能精確控制H2、HCl及Ar等氣體流量，氣體流量、大小可數(shù)顯，精確可控。（略）.2設(shè)置手動(dòng)閥及開(kāi)關(guān)，實(shí)現(xiàn)緊急狀況下的手動(dòng)操作。（略）：由冷水機(jī)、匯流排、傳感（略）組成?？杀O(jiān)測(cè)循環(huán)水水溫并報(bào)警。（略）：具備對(duì)易燃易爆、有毒及強(qiáng)腐蝕性尾氣的無(wú)害化處理裝置及功能，符合國(guó)家環(huán)保排放要求，產(chǎn)生的廢水收集后集中處理。（略）.1用于CVD設(shè)備工藝過(guò)程中主要可移動(dòng)部件的定點(diǎn)吊裝及移動(dòng)，具備自動(dòng)循跡及定位功能。（略）.2（略）體承力框架：采用高強(qiáng)度合金熱軋或鍛造，具備抗彎曲、防變形功能。起升重量：≥1T。起升高度：≥2.8m（與設(shè)備吊裝高度相匹配）。起升速度：≥3.3mmin。吊裝和移動(dòng)：水平運(yùn)行距離≥7.4m（具體以CVD設(shè)備的實(shí)際尺寸為依據(jù)）。數(shù)量：1套，與設(shè)備結(jié)構(gòu)相匹配，具備多工位拓展條件，并滿足采購(gòu)人使用需求。（略）.3定位循跡：采用PLC及伺服電機(jī)，高精度齒（略），具備自動(dòng)定位（四工位）及循跡功能，完成對(duì)CVD設(shè)備部件的自動(dòng)定位、吊裝和移動(dòng)。重復(fù)定位精度：±0.5mm。（略）.4（略）：預(yù)埋各類限位開(kāi)關(guān)、傳感器，具備變速升降、移動(dòng)、緊急停止及物理限位功能。（略）.氣（略）.1由氣體管線、各類閥、防泄漏探頭及氣瓶柜等組成，對(duì)各類氣體的壓力、流量及泄漏具有全自動(dòng)監(jiān)控、顯示、超壓保護(hù)及安全邏輯互鎖功能。具備安全互鎖功（略）邏輯互鎖。（略）.2配置氯化氫（HCl）氣瓶柜，可實(shí)現(xiàn)一鍵式保壓、吹掃。（略）.3配置氫氣防爆間，按照《氫氣使用安全技術(shù)規(guī)程》進(jìn)行執(zhí)行（GB（略）-（略））。（略）.4氣體管線設(shè)計(jì)制造具備GC2認(rèn)證。（略）.5設(shè)置手動(dòng)閥及開(kāi)關(guān)，實(shí)現(xiàn)緊急狀況下的手動(dòng)操作。（略）.1具備工藝參數(shù)編輯、存儲(chǔ)及打印等功能。提供氣相沉積滲鋁工藝模塊，并具備其余工藝模塊的拓展功能，同時(shí)提供與滲鋁技術(shù)相關(guān)的成套配置，并協(xié)助采（略）化應(yīng)用。（略）.2實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝程序的編輯、參數(shù)設(shè)置及顯示、運(yùn)行狀態(tài)動(dòng)態(tài)顯示及操作、故障報(bào)警顯示及記錄、數(shù)據(jù)記錄及歷史曲線、維護(hù)及說(shuō)明頁(yè)面等。（略）.3對(duì)主要設(shè)備故障具有自診斷和（略）互聯(lián)互通，信息共享，實(shí)現(xiàn)工藝和安全的邏輯互鎖。如：與氣（略）之間邏輯互鎖，實(shí)現(xiàn)安全操作。（略）.4（略）及設(shè)備應(yīng)具備高可靠性和連續(xù)工作的能力，自動(dòng)化程度較高，操作界面簡(jiǎn)潔，可實(shí)現(xiàn)異常信息的自動(dòng)報(bào)警與邏輯互鎖。（略）.1采用PLC及配套的電器（略）件，可實(shí)現(xiàn)對(duì)鐘罩式加熱（略）域的電流進(jìn)行調(diào)節(jié)控制。（略）.2配置1臺(tái)（略）.6寸觸摸屏，配置（略）寸彩色顯示器，以及1（略），1套鍵盤和鼠標(biāo)、1個(gè)打印機(jī)、1個(gè)電腦桌、1臺(tái)UPS電源等組成。工控機(jī)CPU核心數(shù)量：≥8，內(nèi)存容量：≥（略）G，固態(tài)硬盤容量：≥1TB。工控機(jī)相關(guān)（略）均為長(zhǎng)期永久授權(quán)，不得加密。（略）.3配置不低于Windows（略），以及國(guó)產(chǎn)工藝控制（略），可實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備各個(gè)部件、流量、開(kāi)關(guān)、閥及傳感器數(shù)字信號(hào)的采集與編輯，設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的監(jiān)控、調(diào)節(jié)，以及安全邏輯互鎖。（略）.4采用模塊化設(shè)計(jì)，操作界面簡(jiǎn)潔實(shí)用，能夠精準(zhǔn)顯示各個(gè)閥門、探頭及傳感器的運(yùn)行狀態(tài)，以及邏輯互鎖的條件，并具備各類信息的自診斷及報(bào)警功能。（略）.其他要求（略）.1設(shè)備涉及易燃易爆及高腐蝕性氣體的閥、儀器儀表、各類傳感器及流量計(jì)等（略）器件應(yīng)選用知名品牌產(chǎn)品。（略）.2工件支撐座采用高溫合金或更高耐熱材質(zhì)。（略）.3所有接觸工藝氣體及尾氣的（略）器件材料必須防腐蝕，采用電子級(jí)電拋光管材（（略）L-EP）材質(zhì)。采用自動(dòng)焊接機(jī)器人焊接。（略）.4設(shè)備主體占地尺寸：≥7m×2.5m（長(zhǎng)度×寬度）。（略）.5針對(duì)安全隱患部位，設(shè)置安全防護(hù)措施。（二）質(zhì)保期：自驗(yàn)收合格之日起（略）年。（三）交貨期：合同生效后，（略）個(gè)月內(nèi)交貨。（四）報(bào)價(jià)要求：本次招標(biāo)采用一次性報(bào)價(jià)。報(bào)價(jià)包含設(shè)備、配套輔機(jī)、配套（略）、易損件、配套環(huán)保設(shè)備以及設(shè)備地基施工、運(yùn)輸、安裝、調(diào)試、培訓(xùn)、稅費(fèi)、保險(xiǎn)等與本項(xiàng)目相關(guān)的全部費(fèi)用，確保設(shè)備安裝后可以滿足安全、環(huán)保及生產(chǎn)運(yùn)行要求。（五）履約保證金：中標(biāo)單位須在簽訂合同（略）天內(nèi)繳納合同金額的5%作為履約保證金，驗(yàn)收合格后穩(wěn)定運(yùn)行一年且產(chǎn)品無(wú)質(zhì)量問(wèn)題，無(wú)息退還。（六）安裝調(diào)試要求（略）安裝：（略）完成設(shè)備就位、水電（略）調(diào)試：進(jìn)行全面的（略）、安全聯(lián)鎖等的功能測(cè)試和參數(shù)校準(zhǔn)。（七）付款方式1.合同簽訂后，（略）合同總額（略）%的預(yù)付款；2.設(shè)備制造完成在（略）內(nèi)驗(yàn)收合格后，（略）合同總額（略）%的預(yù)驗(yàn)收款，供方發(fā)貨至需方指定地點(diǎn)；3.設(shè)備在需方指定地點(diǎn)安裝調(diào)試并通過(guò)驗(yàn)收后，（略）合同總額（略）%的終驗(yàn)收款；4.驗(yàn)收合格后穩(wěn)定運(yùn)行一年且產(chǎn)品無(wú)質(zhì)量問(wèn)題，（略）合同總額（略）%的尾款。5.每次付款前，中標(biāo)單位均須提供對(duì)應(yīng)的等額增值稅專用發(fā)票。（八）驗(yàn)收要求：按照招標(biāo)公告要求、投標(biāo)文件、采購(gòu)合同約定的技術(shù)條款等指標(biāo)進(jìn)行驗(yàn)收。（九）售后服務(wù)要求（略）服務(wù)：產(chǎn)生故障，需在2小時(shí)內(nèi)響應(yīng)，（略）?。裕煹竭_(dá)（略）進(jìn)行維修或更換故障部件。備件供應(yīng)：質(zhì)保期內(nèi)應(yīng)免費(fèi)更換因質(zhì)量問(wèn)題損壞的（略）部件。五、投標(biāo)單位資質(zhì)要求（一）具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力；（二）具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度；（三）具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力；（四）有依法繳納稅收和社會(huì)保障資金的良好記錄；（五）近三年內(nèi)，在經(jīng)營(yíng)活動(dòng)中沒(méi)有重大違法記錄；（六）本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)，不得轉(zhuǎn)包或（略）包。六、評(píng)（略）標(biāo)準(zhǔn)本次招標(biāo)采用綜合評(píng)（略）法，總（略）為（略），具體內(nèi)容如下：（一）針對(duì)中小企業(yè)、殘疾人福利企業(yè)和監(jiān)獄（略）采購(gòu)促進(jìn)中小企業(yè)發(fā)展管理辦法》（財(cái)庫(kù)〔（略）〕（略）號(hào)）、（略）采購(gòu)支持中小企業(yè)力度的通知》（蘇財(cái)購(gòu)〔（略）〕（略）號(hào)（略）采購(gòu)政策的通知》（（略）采購(gòu)支持監(jiān)獄企業(yè)發(fā)展有關(guān)問(wèn)題的通知》（財(cái)庫(kù)〔（略）〕（略）號(hào)）的有關(guān)規(guī)定，對(duì)于符合上述文件規(guī)定情形的小微企業(yè)、殘疾人福利性單位及監(jiān)獄企業(yè)報(bào)價(jià)給予（略）%的扣除，用扣除后的價(jià)格參與評(píng)審，如扣除后的價(jià)格為最低價(jià)的，則作為評(píng)標(biāo)基準(zhǔn)價(jià)，中標(biāo)金額則以實(shí)際投標(biāo)報(bào)價(jià)為準(zhǔn)。殘疾人福利性單位屬于小型、微型企業(yè)的，不重復(fù)享受政策。小微企業(yè)提供《中小企業(yè)聲明函》；監(jiān)獄企業(yè)（略）級(jí)以上（略）、（略）（含新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)）出具的屬于監(jiān)獄企業(yè)的證明文件；殘疾人福利性單位提供《殘疾人福利性單位聲明函》。注：①填報(bào)“中小企業(yè)聲明函”需嚴(yán)格按“工信部聯(lián)企業(yè)〔（略）〕（略）號(hào)通知中的《中小企業(yè)劃型標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定》進(jìn)行。②若供應(yīng)商提供的聲明函或（略）監(jiān)管（略）采購(gòu)促進(jìn)中小企業(yè)發(fā)展管理辦法》（財(cái)庫(kù)〔（略）〕（略）號(hào)）及《中小企業(yè)劃型標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定》（工信部聯(lián)企業(yè)〔（略）〕（略）號(hào)），本采購(gòu)標(biāo)的對(duì)應(yīng)的中小企業(yè)劃（略）標(biāo)準(zhǔn)所屬行業(yè)（略）工業(yè)。（二）價(jià)格（略）（（略））1．評(píng)標(biāo)基準(zhǔn)價(jià)：滿足招標(biāo)文件要求且投標(biāo)價(jià)格最低的投標(biāo)報(bào)價(jià)為評(píng)標(biāo)基準(zhǔn)價(jià)，評(píng)標(biāo)基準(zhǔn)價(jià)為滿（略）；2．其他投標(biāo)供應(yīng)商的投標(biāo)報(bào)價(jià)得（略）按照下列公式計(jì)算：投標(biāo)報(bào)價(jià)得（略）＝（評(píng)標(biāo)基準(zhǔn)價(jià)／投標(biāo)報(bào)價(jià)）×（略）。（三）技術(shù)參數(shù)、配置及（略）體綜合性能（略）（（略））1．技術(shù)參數(shù)及配置（（略））以供應(yīng)商提供的能直接反映該產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)的技術(shù)支持資料（測(cè)試報(bào)告或產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)）等作為評(píng)標(biāo)依據(jù)，其他情況由評(píng)標(biāo)委員會(huì)根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行評(píng)判。（1）所提供產(chǎn)品多項(xiàng)不滿足招標(biāo)公告要求（偏離），或參數(shù)偏離超出用戶教學(xué)、科研可接受范圍的，經(jīng)評(píng)標(biāo)委員會(huì)評(píng)審可作為無(wú)效響應(yīng)文件。（2）所提供產(chǎn)品不滿足招標(biāo)公告要求（偏離）、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏項(xiàng)的，每處扣2（略）。2．綜合性能情況（（略））（1）所提供產(chǎn)品性能參數(shù)優(yōu)于招標(biāo)文件中技術(shù)條款要求情況（評(píng)標(biāo)委員會(huì)認(rèn)為超出指標(biāo)有意義的）（3（略））。其中優(yōu)于項(xiàng)，每處加1（略）。（2）所提供（略）場(chǎng)反饋情況（7（略））。根據(jù)所投產(chǎn)品的品牌影響力、（略）場(chǎng)占有率（同行業(yè)為主）、現(xiàn)有用戶的反饋情況、使用投標(biāo)產(chǎn)品發(fā)表的學(xué)術(shù)論文情況等綜合評(píng)定。（（略）（（略））1．綜合實(shí)力（2（略））根據(jù)投標(biāo)人提供的能體現(xiàn)其綜合實(shí)力的證明材料進(jìn)行評(píng)定。2．類似項(xiàng)目業(yè)績(jī)（（略））。投標(biāo)人提供（略）年以來(lái)同類型設(shè)備銷售業(yè)績(jī)，每提供1項(xiàng)銷售業(yè)績(jī)得2（略），滿（略）。注：提供合同頁(yè)及蓋章頁(yè)。（其中合同復(fù)印件應(yīng)至少（略）名稱及蓋章、合同簽訂或生效時(shí)間等，未按上述要求提供的業(yè)績(jī)證明均不予以認(rèn)可）。3．售后服務(wù)與培訓(xùn)情況等