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招標(biāo)代理公司（立即查看） 受業(yè)主單位（立即查看） 委托，于2025-10-31在采購(gòu)與招標(biāo)網(wǎng)發(fā)布 EB-PVD設(shè)備　　招標(biāo)公告。現(xiàn)邀請(qǐng)全國(guó)供應(yīng)商參與投標(biāo)，有意向的單位請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系項(xiàng)目聯(lián)系人參與投標(biāo)。 一、項(xiàng)目名稱：EB-PVD設(shè)備二、（略）能參數(shù)要求EB-PVD設(shè)備1臺(tái)（一）主要技術(shù)參數(shù)及配置要求1.設(shè)備技術(shù)要求：設(shè)備所有（略）部件和各種儀表的計(jì)量單位應(yīng)全部采用國(guó)際單位（SI）標(biāo)準(zhǔn)。2.工藝要求2.1工藝氣體主要包括O2及Ar，工藝氣體純度不低于5N。2.2蒸發(fā)沉積速率：3μmmin-5μmmin。3.配置2（略）3.1電子槍形式：三級(jí)間熱式電子槍雙級(jí)真空。3.2每把電子槍額定功率：≥（略）KW。3.3電子束光斑直徑：≥5mm。3.4聚焦方式：兩級(jí)聚焦同時(shí)具有聚焦保護(hù)。3.5電子束偏轉(zhuǎn)（略）度：≥±（略）°。3.6掃描圖形種類：≥6種。3.7（略）具備（略）束掃描功能。3.8燈絲及陰極壽命：≥（略）h。3.9電子槍冷態(tài)極限真空度：≤8.0×（略）-4Pa。3.（略）電子槍抽真空時(shí)間（工作真空）：（略）鐘內(nèi)達(dá)到5.0×（略）-3Pa（不含（略）子泵的啟動(dòng)時(shí)間）。3.（略）電子槍采用雙層水冷結(jié)構(gòu)。3.（略）具備傾斜（略）修正、旋轉(zhuǎn)（略）修正、束斑向心加速等功能。3.（略）電子槍接地電阻：≤1Ω。3.（略）電子槍重量：≤（略）KG（不含（略）子泵）。3.（略）電子槍尺寸：≤（略）mm×（略）mm×（略）mm（長(zhǎng)×寬×高）。4.電子槍電源4.1電源：（略）V±（略）%；（略）Hz±1Hz；三相交流電。4.2電壓穩(wěn)定度：≤1%。4.3打火響應(yīng)時(shí)間：≤5μs。4.4加速電壓：0~（略）KV可調(diào)。5.沉積真空室5.1用于蒸發(fā)靶材沉積涂層的高真空腔室。包括水冷銅坩堝、光柵閥、閃頻觀察窗、電子（略）、閥口擋板、靶材升降裝置等。5.2沉積真空室采用不銹鋼（略）材質(zhì)、雙層水冷結(jié)構(gòu)。5.3水冷坩堝數(shù)量：3個(gè)，坩堝材質(zhì)：紫銅。5.4沉（略）由旋片泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵、（略）、真空計(jì)、閥體等組成。5.5沉積真空室冷態(tài)極限真空度：≤5.0×（略）-4Pa。5.6抽真空時(shí)間（工作真空）：（略）鐘內(nèi)達(dá)到5.0×（略）-3Pa（不含擴(kuò)散泵的升溫時(shí)間）。5.7壓升率（（略）h）：≤1.（略）Pah。5.8靶材升降裝置通過伺服電機(jī)控制升降及旋轉(zhuǎn)。5.9光柵閥通過伺服電機(jī)控制開合。5.（略）閃頻觀察窗由內(nèi)層石英玻璃、中間層鉛玻璃、外層黑玻璃組成。6.配置2套原位輻射加熱室6.1原位輻射加熱（略）件由石墨加熱帶產(chǎn)生輻射熱量。6.2原位輻射加熱溫度范圍：0~（略）℃。6.3爐溫均勻性測(cè)試，校溫點(diǎn)為（略）℃、（略）℃、（略）℃。6.4（略）加熱，（略）功率≥（略）KW，總功率≥（略）KW。6.5原位輻（略）由旋片泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵、（略）、真空計(jì)、閥體等組成。6.6原位輻射加熱室采用不銹鋼（略）材質(zhì)、雙層水冷結(jié)構(gòu)。6.7原位輻射加熱室設(shè)有傳動(dòng)軸滑動(dòng)及轉(zhuǎn)動(dòng)支撐裝置。6.8壓升率（（略）h）：≤1.（略）Pah。7.配置2套裝載室7.1（略）體采用不銹鋼（略）材質(zhì)、（略）水冷結(jié)構(gòu)。7.2裝載室設(shè)有傳動(dòng)軸滑動(dòng)及轉(zhuǎn)動(dòng)支撐裝置。7.3（略）由旋片泵、羅茨泵、（略）、真空計(jì)、閥體等組成。7.4設(shè)有固定觀察窗1個(gè)，觀察窗由內(nèi)層石英玻璃、外層鉛玻璃組成。7.5裝載室上蓋設(shè)為法蘭密封結(jié)構(gòu)，便（略）。8.配置2（略）8.1轉(zhuǎn)架為叉子型結(jié)構(gòu)，轉(zhuǎn)架需實(shí)現(xiàn)橫移+自轉(zhuǎn)+擺動(dòng)功能。橫移速度：0-3mmin；自轉(zhuǎn)速度：0~（略）rmin；擺動(dòng)（略）度：±（略）°8.2橫移+自轉(zhuǎn)+擺動(dòng)均采用伺服電機(jī)配備減速器控制。8.3轉(zhuǎn)架工位數(shù)量：≥（略）件。8.4轉(zhuǎn)架配備K型熱電偶；熱電偶數(shù)量：≥8支。8.5轉(zhuǎn)架材質(zhì)為高溫合金材質(zhì)，轉(zhuǎn)架使用溫度：0~（略）℃。8.6傳動(dòng)軸為雙層水冷結(jié)構(gòu)。9.（略）9.1O2質(zhì)量流量控制器量程：（略）sccm。9.2Ar質(zhì)量流量控制器量程：（略）Lmin。9.3工藝（略），采用電子級(jí)電拋光管材（（略）L-EP）材質(zhì)。采用（略）焊接。（略）.1（略）由兩部（略）組成，一部（略）為主體結(jié)構(gòu)冷卻，一部（略）為電子槍冷卻。（略）.2主體結(jié)構(gòu)冷卻采用螺桿式冷水機(jī)組，主體結(jié)構(gòu)（略）水器應(yīng)充（略）考慮每一組供水的可靠性，（略）設(shè)置超溫和缺水報(bào)警，每一（略）上加裝輪式水流開關(guān)，主體結(jié)構(gòu)（略）水器與真空室連接采用軟管連接，軟管采用高壓防爆管，真空室內(nèi)部軟管采用高壓波紋管連接，冷卻（略）安裝壓力表。（略）.3電子槍冷卻采用工業(yè)級(jí)冷水機(jī)，獨(dú)立一組（略）水器，（略）設(shè)置超溫和缺水報(bào)警，（略）安裝壓力表，并且水溫水流有數(shù)顯。（略）.壓縮空氣（略）.1壓縮空氣壓力：0.4MPa~0.6MPa。（略）.2作為各類氣動(dòng)閥門的來源，主要由閥島、氣動(dòng)三聯(lián)件、閥門、（略）構(gòu)成，壓力不足時(shí)能給出報(bào)警信號(hào)。（略）.工作臺(tái)架工作機(jī)臺(tái)組成：其一為真空腔室（沉積室、原位輻射加熱室及裝載室）機(jī)臺(tái)，方管焊接件；其二為真空機(jī)組工作（略），高度適合操作為宜。（略）.1供電：（略）V±（略）%；（略）Hz±1Hz；三相交流電。設(shè)備端配備電氣柜、總動(dòng)力柜為設(shè)備（略）體提供供電需求及控制。（略）.2采用知名品牌的PLC及配套的電器（略）件。（略）.3配置（略）寸彩色顯示器，1個(gè)鍵盤和鼠標(biāo)、1個(gè)打印機(jī)、1個(gè)懸臂支撐架、1臺(tái)UPS電源等組成。工控機(jī)CPU核心數(shù)量：≥8，內(nèi)存容量：≥（略）G，固態(tài)硬盤容量：≥1TB。工控機(jī)和PLC上相關(guān)（略）均為長(zhǎng)期永久授權(quán)，不得加密。（略）.4配置不低于Windows（略），以及國(guó)產(chǎn)工藝控制（略），可實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備各個(gè)部件、流量、開關(guān)、閥及傳感器數(shù)字信號(hào)的采集與編輯，設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的監(jiān)控、調(diào)節(jié)，以及安全邏輯互鎖。（略）.5采用模塊化設(shè)計(jì)，操作界面簡(jiǎn)潔實(shí)用，能夠精準(zhǔn)顯示各個(gè)閥門、傳感器等組件的運(yùn)行狀態(tài)，以及邏輯互鎖的條件，并具備各類信息的自診斷及報(bào)警功能。（略）.輔助配套裝置（略）.1臥式熱處理爐型式：?jiǎn)问摇⑴P式、水平前裝料、冷卻氣內(nèi)循環(huán)方式；最高溫度：（略）℃；溫度均勻性：±5℃；控溫精度：≤±1℃；抽真空時(shí)間（工作真空）：（略）鐘內(nèi)達(dá)到5.0×（略）-3Pa（不含擴(kuò)散泵的升溫時(shí)間）；冷態(tài)極限真空度：≤8.0×（略）-4Pa。（略）.2電鍍Pt臺(tái)外形尺寸：（略）mm×（略）mm×（略）mm（長(zhǎng)×寬×高）；Pt槽容積（略）mm×（略）mm×（略）mm（長(zhǎng)×寬×高）。（略）.3超聲波清洗機(jī)電壓：AC（略）V±（略）%，（略）HZ；功率：0-（略）%數(shù)控調(diào)節(jié)。（略）.4干吹砂機(jī)外形尺寸：（略）mm×（略）mm×（略）mm（長(zhǎng)×寬×高）；工作艙尺寸：（略）mm×（略）mm×（略）mm（長(zhǎng)×寬×高）；電源：（略）V、（略）HZ；機(jī)器照明燈：（略）V，（略）W-LED燈；壓縮空氣源：壓力5-7kgcm2；流量0.8-1.2m3min干燥壓縮空氣；除塵方式：配置濾芯除塵箱；除塵風(fēng)機(jī)：（略）W（略）V；機(jī)器承載量：（略）㎏。（略）.5濕吹砂機(jī)（略）機(jī)外形尺寸：（略）mm×（略）mm×（略）mm（長(zhǎng)×寬×高）；砂箱尺寸：（略）mm×（略）mm×（略）mm（長(zhǎng)×寬×高）；電源：（略）V（略）HZ；壓縮空氣源；壓力5~7kgcm2流量1~2m3min；砂泵功率：（略）W；砂管規(guī)格：（略）mm×（略）mm（直徑×長(zhǎng)）；噴嘴規(guī)格：9.5mm（直徑）；轉(zhuǎn)盤規(guī)格：（略）mm（直徑）；機(jī)器承重：（略）kg；排霧風(fēng)扇：2PCS；照明燈：1PCS*（略）W；機(jī)艙材質(zhì)：不銹鋼（略）；雨刷器：氣動(dòng)。（略）.6烘箱工作溫度范圍：（略）℃~（略）℃，內(nèi)部尺寸（略）mm×（略）mm×（略）mm（長(zhǎng)×寬×高）。（略）.7純水機(jī)制水量0.5噸h；電導(dǎo)率不高于0.3μScm。（略）.8線切割設(shè)備用于產(chǎn)品檢測(cè)金相切割，最大加工范圍（略）mm×（略）mm（長(zhǎng)×寬）。（略）.9空氣壓縮機(jī)站外形尺寸（略）mm×（略）mm×（略）mm（長(zhǎng)×寬×高）；容積容量（略）m3min，排氣壓力0.8MPa；電機(jī)功率（略）kW，重量（略）kg，儲(chǔ)氣罐2立方米。（略）.（略）堿性廢液箱1m3，PE材質(zhì)，（略）mm×（略）mm（長(zhǎng)×寬）；水幕廢水箱1m3，白色；綜合清洗廢水箱（略）m3，白色；設(shè)備主體處理量0.5m3h。（略）.（略）液氬氣站液氬儲(chǔ)罐容積（略）L，工作壓力2.5MPa，內(nèi)外容器材料S（略）；氬氣設(shè)計(jì)壓力2.5MPa，氣化量（略）N·m3h。（略）.（略）循環(huán)氧化爐爐膛：高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛；（略）尺寸：（略）mm×（略）mm（直徑×高）；加熱（略）件：硅碳棒加熱；爐管材質(zhì)：陶瓷剛玉管；控（略）采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自（略）定功能，（略）段升降溫程序；恒溫精度：±1℃；升溫速度：5~（略）℃min；額定功率：（略）KW；工作電源：AC（略）V（略）HZ（略）控制：滾珠絲桿升降機(jī)1套。（略）.（略）恒溫氧化爐爐膛尺寸（略）mm×（略）mm×（略）mm（長(zhǎng)×寬×高）；最高溫度（略）℃，使用溫度0~（略）℃；控溫精度：±1℃；發(fā)熱（略）件采用高溫硅碳棒加熱；測(cè)溫（略）件K型熱電偶。（略）.（略）工件防護(hù)臺(tái)尺寸：（略）mm×（略）mm（長(zhǎng)×寬）。（略）.（略）工件轉(zhuǎn)運(yùn)車尺寸：（略）mm×（略）mm×（略）mm（長(zhǎng)×寬×高）。（二）質(zhì)保期：自驗(yàn)收合格之日起（略）年。（三）交貨期：合同生效后，（略）個(gè)月內(nèi)交貨。（四）報(bào)價(jià)要求：本次招標(biāo)采用一次性報(bào)價(jià)。報(bào)價(jià)包含設(shè)備、配套輔機(jī)、配套（略）、易損件、配套環(huán)保設(shè)備、設(shè)備地基施工、運(yùn)輸、安裝、調(diào)試、培訓(xùn)、稅費(fèi)、保險(xiǎn)等與本項(xiàng)目相關(guān)的全部費(fèi)用，確保設(shè)備安裝后可以滿足安全、環(huán)保及生產(chǎn)運(yùn)行要求。（五）履約保證金：中標(biāo)單位須在簽訂合同（略）天內(nèi)繳納合同金額的5%作為履約保證金，驗(yàn)收合格后穩(wěn)定運(yùn)行一年且產(chǎn)品無質(zhì)量問題，無息退還。（六）安裝調(diào)試要求（略）安裝：（略）完成設(shè)備就位、水電（略）調(diào)試：進(jìn)行全面的（略）、安全聯(lián)鎖等的功能測(cè)試和參數(shù)校準(zhǔn)。（七）付款方式1.合同簽訂后，（略）合同總額（略）%的預(yù)付款；2.設(shè)備制造完成在（略）內(nèi)驗(yàn)收合格后，（略）合同總額（略）%的預(yù)驗(yàn)收款，供方發(fā)貨至需方指定地點(diǎn)；3.設(shè)備在需方指定地點(diǎn)安裝調(diào)試并通過驗(yàn)收后，（略）合同總額（略）%的終驗(yàn)收款；4.驗(yàn)收合格后穩(wěn)定運(yùn)行一年且產(chǎn)品無質(zhì)量問題，（略）合同總額（略）%的尾款。5.每次付款前，中標(biāo)單位均須提供對(duì)應(yīng)的等額增值稅專用發(fā)票。（八）驗(yàn)收要求：按照招標(biāo)公告要求、投標(biāo)文件、采購(gòu)合同約定的技術(shù)條款等指標(biāo)進(jìn)行驗(yàn)收。（九）售后服務(wù)要求（略）服務(wù)：產(chǎn)生故障，需在2小時(shí)內(nèi)響應(yīng)，（略）?。裕煹竭_(dá)（略）進(jìn)行維修或更換故障部件。備件供應(yīng)：質(zhì)保期內(nèi)應(yīng)免費(fèi)更換因質(zhì)量問題損壞的（略）部件。五、投標(biāo)單位資質(zhì)要求（一）具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力；（二）具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度；（三）具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力；（四）有依法繳納稅收和社會(huì)保障資金的良好記錄；（五）近三年內(nèi)，在經(jīng)營(yíng)活動(dòng)中沒有重大違法記錄；（六）本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)，不得轉(zhuǎn)包或（略）包。六、評(píng)（略）標(biāo)準(zhǔn)本次招標(biāo)采用綜合評(píng)（略）法，總（略）為（略），具體內(nèi)容如下：（一）針對(duì)中小企業(yè)、殘疾人福利企業(yè)和監(jiān)獄（略）采購(gòu)促進(jìn)中小企業(yè)發(fā)展管理辦法》（財(cái)庫〔（略）〕（略）號(hào)）、（略）采購(gòu)支持中小企業(yè)力度的通知》（蘇財(cái)購(gòu)〔（略）〕（略）號(hào)（略）采購(gòu)政策的通知》（（略）采購(gòu)支持監(jiān)獄企業(yè)發(fā)展有關(guān)問題的通知》（財(cái)庫〔（略）〕（略）號(hào)）的有關(guān)規(guī)定，對(duì)于符合上述文件規(guī)定情形的小微企業(yè)、殘疾人福利性單位及監(jiān)獄企業(yè)報(bào)價(jià)給予（略）%的扣除，用扣除后的價(jià)格參與評(píng)審，如扣除后的價(jià)格為最低價(jià)的，則作為評(píng)標(biāo)基準(zhǔn)價(jià)，中標(biāo)金額則以實(shí)際投標(biāo)報(bào)價(jià)為準(zhǔn)。殘疾人福利性單位屬于小型、微型企業(yè)的，不重復(fù)享受政策。小微企業(yè)提供《中小企業(yè)聲明函》；監(jiān)獄企業(yè)（略）級(jí)以