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真空熱壓燒結(jié)系統(tǒng)(GY202504804)延期公告。現(xiàn)邀請全國供應(yīng)商參與投標(biāo),有意向的單位請及時聯(lián)系項(xiàng)目聯(lián)系人參與投標(biāo)。
打印(略)(GY(略))延期公告發(fā)布時間:(略)-(略)-(略):(略):(略)閱讀量:(略)?次延期信息延期理由:由于該項(xiàng)目
報(bào)價供應(yīng)商數(shù)量不滿足要求,本項(xiàng)目延期至(略)-(略)-(略):(略)因報(bào)價情況不滿足要求,采購方?jīng)Q定延期項(xiàng)目(略)
項(xiàng)目編號GY(略)公告開始日期(略)-(略)-(略):(略):(略)公告截止日期(略)-(略)-(略):(略):(略)采購單位新一代半導(dǎo)體材料研究院付款方式貨到驗(yàn)收合格后(略)個工作日付款聯(lián)系人成交后在我參與的項(xiàng)目中查看
聯(lián)系電話成交后在我參與的項(xiàng)目中查看簽約時間要求到貨時間要求定制款簽訂合同后(略)天內(nèi)到貨。
預(yù)算總價¥(略).(略)+NaN+NaN發(fā)票要求增值稅普通發(fā)票增值稅專用發(fā)票含稅要求送貨要求安裝要求(略)新一代半導(dǎo)體材料研(略)采購法》第二十二條規(guī)定的供應(yīng)商基本條件公告說明由于該項(xiàng)目報(bào)價供應(yīng)商數(shù)量不滿足要求,本項(xiàng)目延期至(略)-(略)-(略):(略)采購
清單1采購商品采購數(shù)量計(jì)量單位所屬(略)1臺真空應(yīng)用設(shè)備無無品牌品牌1晨華型號ZT-(略)-(略)Y品牌2型號品牌3型號品牌4型號品牌5型號品牌6型號預(yù)算單價¥?(略).(略)技術(shù)參數(shù)及配置要求主要參數(shù):1.額定功率:(略)kW電源電壓(略)V(略)HZ三相五線制2.爐型:立式結(jié)構(gòu)頂部開蓋裝取料方式3.加熱方式:等靜壓石墨,電極相數(shù)三相,最高溫度(略)℃4.(略)尺寸:(略)mmD(略)H5.壓頭直徑:Φ(略)mm,壓力行程0~(略)mm數(shù)顯6.最大壓力:(略)T伺服液壓,(略)間1.5-(略)%FS,控壓精度0.1%FS;7.加壓方式:由下向上單向加壓8.冷態(tài)極限真空度:6.(略)P(略)℃時真空度為6.(略)Pa,烘爐后,壓升率≤1.5Pah9.溫度控制方式:室溫-(略)℃采用鎢錸熱電偶,(略)-(略)℃采用日本千野品牌紅外儀測溫。(略).溫度控制精度:溫度高于(略)℃時≤±1℃(略).式樣尺寸范圍石墨模具:(略)-(略)mm(略).爐體主體顏色:貝灰色,內(nèi)層(略)不銹鋼,外層(略)不銹鋼油漆處理(略).石墨件灰(略):≤(略)PPm結(jié)構(gòu)說明1.真空腔室采用雙層水夾層結(jié)構(gòu),內(nèi)壁為(略)不銹鋼拋光處理,外壁采用(略)不銹鋼油漆防銹。上、下(略)不銹鋼法蘭組焊成筒型結(jié)構(gòu),法蘭平面開設(shè)密封槽。采用“0”型圈真空密封,并設(shè)水冷裝置防止因溫度過高“0”型圈老化,設(shè)有鎢錸熱電偶測溫孔、抽氣孔、觀察孔等。爐蓋采用雙層夾層封頭結(jié)構(gòu),內(nèi)壁為(略)不銹鋼拋光處,外壁為(略)不銹鋼組焊而成并設(shè)置連桿啟開結(jié)構(gòu),操作手柄將爐蓋頂升(略)~(略)mm移開爐蓋,便于進(jìn)出料操作方便靈活、爐蓋上設(shè)水冷不銹鋼壓頭、壓緊裝置、爐蓋鎖緊裝置等。爐底同樣采用雙層水冷封頭結(jié)構(gòu)內(nèi)外層材質(zhì)同爐蓋一致,固定在爐體底部并設(shè)有電極引入裝置,水冷不銹鋼下壓頭可調(diào)節(jié)高度,并安裝高精度位移傳感器。2(略)爐內(nèi)保溫層采用灰(略)≤(略)PPm的軟碳?xì)謴?fù)合結(jié)構(gòu),最內(nèi)層采用石墨筒固定發(fā)揮其高溫情況下的堅(jiān)固性,外層采用多層軟碳?xì)职l(fā)揮保溫效果好的特點(diǎn)+不銹鋼套加以固定,并且(略)加強(qiáng)筋以保證長期使用不變形。發(fā)熱體更換方便,(略)可以作為一個結(jié)構(gòu)完備的部件被拆卸出來,便于維護(hù)和修理,耐熱沖擊性好,便于快速加熱。3.加熱室加熱(略)件發(fā)熱體采用等靜壓石墨制作成圓形結(jié)構(gòu),(略)外環(huán)形對稱(略)布。采用三相加熱方式確保有(略)尺寸為(略)mm(略)高(略)mm模具外徑尺寸內(nèi)的溫度均勻性和工件的均勻受熱。采用干式變壓器,安裝在控制柜內(nèi),輸入功率約(略)KW,輸入電壓(略)V、(略)Hz,空爐平均升溫速率5-(略)℃min,最高溫度達(dá)到(略)℃。絕緣套與水冷銅電極可靠連接,避免因熱處理過程中材料揮發(fā)(略)而燒毀電極。爐內(nèi)石墨墊塊及石墨電極等均采用等靜壓石墨制成。4(略)進(jìn)氣:MBS(略)型danfoss品牌的壓力傳感器+電控閥+單向閥+氣速率0-5Lmin質(zhì)量流量計(jì)氮、氬氣,燒結(jié)工藝要求進(jìn)氣量較小的時候會在(略)cc、(略)cc左右min+氬氣(略)+紅外孔吹掃氬氣、浮標(biāo)流量計(jì)。負(fù)壓:水冷翅片式過濾器可打開清理下設(shè)有焦油收集器可打開清理+粉塵過濾器可打開清理或更換濾芯+比例閥,閉環(huán)控制,通過程序設(shè)定,配合比例閥,實(shí)現(xiàn)微負(fù)壓燒結(jié)功能絕壓:5-(略)kpa;正壓:微正壓≤(略)Kpa的燒結(jié)功能,正壓流動、正壓非流動、手動三種模式。5(略)由靜音小型空壓機(jī)、氣動三聯(lián)件、電磁換向閥、(略)構(gòu)(略)的氣動閥門。6.溫度測量方式室溫-(略)℃采用1組保護(hù)套管一體式鎢錸熱電偶測溫,并配備熱電偶自動退出裝置;(略)℃-(略)℃采用1臺進(jìn)口品牌千野紅外義測溫;另配有采用1支K型電偶監(jiān)測保溫層溫度,主測溫裝置一旦出現(xiàn)故障,將自動切斷加熱程序并報(bào)警,起到保護(hù)設(shè)備和燒結(jié)工件的安全性。7.液壓裝置壓機(jī)機(jī)構(gòu)采用伺服加壓,由油箱、液壓泵、壓力傳感器、伺服控制閥、油缸、上下橫梁、2立柱框架及鎖緊螺母等組成,立柱是經(jīng)精加工后表面再鍍硬鉻處理,確保持久如新,上下鎖緊螺母為高強(qiáng)度合金鋼,能承受壓機(jī)相應(yīng)的承載力。經(jīng)嚴(yán)格加工及(略)安裝孔具備良好的同心度,具有較大(略),用來放置真空爐體,并(略),具有泄壓與保壓功能,用來驅(qū)動油缸,壓力控制采用進(jìn)口產(chǎn)品,自動(略)定次級壓力,并能有效補(bǔ)償由于熱延帶來的壓力波動,壓頭測距采用光柵電子尺測距精度±0.(略)mm。壓機(jī)設(shè)計(jì)是經(jīng)過專業(yè)(略)計(jì)算,本設(shè)備采用的是活塞式往復(fù)式液壓油缸。油缸為活塞式往復(fù)式液壓油缸,具有啟始壓力低、油缸摩擦系數(shù)低等特點(diǎn)。加壓時活塞由無桿側(cè)向有桿側(cè)運(yùn)動,液壓缸無桿側(cè)輸出力。8(略)主進(jìn)出水管采用密閉式結(jié)構(gòu),(略)水管安裝有迷你型不銹鋼閥門、快插式連接方式,可手動調(diào)節(jié)水流量大小。冷卻水總管進(jìn)入后,經(jīng)過各支管送到爐體、爐蓋、爐底、水冷電極、真空泵等需要冷卻水的地方,然后匯總到回水總管排出??偅裕┰O(shè)有電接點(diǎn)壓力表,具有斷水聲光報(bào)警自動切斷電源功能。關(guān)鍵部位電極處安裝有(略)具有安全(略)又一級安全屏障。隨爐配備一臺一體式風(fēng)冷工業(yè)冷水機(jī)及相應(yīng)的連接水管8米,閥門、接頭1套,電源線8米,滿足設(shè)備運(yùn)行時所需要的冷卻循環(huán)水要求。9(略)采用二級真空泵配置,由(略)臺2(略)-(略)型直聯(lián)泵配油煙過濾器、(略)臺TK-(略)型凸腔油擴(kuò)散泵配冷阱防止油蒸氣進(jìn)入爐膛,氣動真空擋板閥、手動放氣閥破真空、真空壓力表、真空過濾器等組成,(略)與泵的聯(lián)接采用金屬波紋軟管快速接頭聯(lián)接減緩震動,真空度的測量由數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)執(zhí)行。(略)包括水壓異常報(bào)警,安裝有水流量數(shù)顯流量計(jì)及超溫報(bào)警單(略)冷卻水的狀態(tài)并可觸發(fā)緊急報(bào)警停機(jī);溫度異常報(bào)警侯翠榮:緊急報(bào)警停機(jī);溫度異常報(bào)警監(jiān)控電流,電壓,壓力,溫度、發(fā)(略)異常報(bào)警等。溫度、壓力等具有上限報(bào)警、極限保護(hù)功能,報(bào)警后可清音確認(rèn),故障排除后復(fù)位確(略)內(nèi)。另具備和電話連接的時刻電子報(bào)警功能,如發(fā)生溫度異常,水壓異常、壓力異常、電壓異常等故障時刻向連接的手機(jī)以來電和短信約(略)條的兩種方式(略)信號。注:時刻電子報(bào)警功能在使用時會產(chǎn)生相關(guān)的電信服務(wù)費(fèi)用,設(shè)備供應(yīng)商提供免費(fèi)使用(略)年時間。(略)采集部(略)以(略)"液晶觸摸屏和可編程控制器PLC為核心,中文界面。溫控控制部(略)具有多組P.ID功能自動控制,具有超溫聲(略)還具有過流、斷水、超溫等聲光報(bào)警功能。電控屏箱按仿威圖樣式制作操作方便,主要電器(略)件采用歐姆龍或施耐德(略),確保不會因?yàn)榄h(huán)境溫度過高而影響模塊內(nèi)(略)器(略)集中在控制柜中,面板上設(shè)計(jì)了(略)"液晶觸摸屏、真空計(jì)等。運(yùn)行操作部(略)采用無儀表控制方式,以觸摸屏和可編程控制器PLC為核心,配有AMCsy(略),配以空氣開關(guān)、接觸器、繼電器、指示燈等(略)器件,通過各種傳感器的信號,實(shí)現(xiàn)爐體機(jī)械機(jī)構(gòu)的邏輯控制。對溫度、真空度進(jìn)行記錄、存儲、實(shí)時顯示、設(shè)定工藝曲線,具有多組工藝配方的儲存、調(diào)用功能。全部工況動作配有安全聯(lián)鎖保護(hù),具有超溫?cái)嚯?,停水?dāng)嚯娡V辜訜?、真空泵等。觸摸屏具有中文操作界面,設(shè)定與自動采集
數(shù)據(jù)曲線、數(shù)據(jù)列表顯示、數(shù)據(jù)記錄、(略)、截圖等功能,自動跳轉(zhuǎn)報(bào)警界面,對各個工藝參數(shù)實(shí)現(xiàn)動態(tài)顯示,也可實(shí)時觀察歷史曲線,可以實(shí)現(xiàn)權(quán)限管理,防止設(shè)備出現(xiàn)(略)特點(diǎn)1、配方功能1.支持多組配方功能,每個配方多達(dá)(略)步,可設(shè)定溫度、壓力、時間、PID號、功率限幅。2.支持配方查看、新增含以模板新增、保存、替換、刪除、調(diào)用。3.支持工藝跳步向前、后跳,可選溫度、壓力跳步變化模式:漸變模式和突變模式,即跳步時,SV值是當(dāng)前值還是目標(biāo)步的設(shè)置值。4.工藝運(yùn)行時,配方當(dāng)前步和所調(diào)用的PID背景色改變,方便查看。5.配方編輯時,修改內(nèi)容的背景顏色改變,便于突出顯示特別是對于以模板新增的配方,方便比較。6.十組溫度PID,一組壓力PID,支持運(yùn)行過程中對PID參數(shù)的查看和實(shí)時修改。7.界面顯示壓頭運(yùn)動的位移值及位移速率,以方便觀察及(略)析物料變形情況。2、數(shù)據(jù)管理1.支持時實(shí)曲線,可修改(略)、Y軸最大、小值,實(shí)現(xiàn)曲線放大和縮小,以便于觀察(略)部或(略)個曲線。2.支持時實(shí)曲線截屏功能。3.支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄和歷史數(shù)據(jù)(略),用戶可修改數(shù)據(jù)記錄間隔時間,包含:SV、PV、真空度、氣氛壓力、監(jiān)測溫度、水溫、位移、位移速率等。4.歷史曲線查看功能。5.報(bào)警記錄查詢功能,包括但不限于:通信檢測、傳感器故障檢測、報(bào)警點(diǎn)檢測、水溫水壓氣壓異常。6(略)剩余存儲空間顯示,存儲容量不足報(bào)警提示功能,支持用戶部(略)清除或清空數(shù)據(jù)。3、操作方便1.支持異地遠(yuǎn)程實(shí)時(略)編程、調(diào)試及維護(hù)。2.支持以(略),可設(shè)置多個操作用戶。3.對于溫度、壓力、氣氛均支持手自動控制。a溫度壓力a手動:指操作者通過多圈電位器控制;b自動:通過PLC程序控制。b.氣氛手動:指操作者通過觸摸屏ONOFF控制;b自動:設(shè)置氣氛上、下限和回差,氣氛壓力控制在上下限范圍內(nèi)。4.支持溫度伺服啟動功能,即工藝從當(dāng)前溫度開始運(yùn)行。5.工藝保持即暫停功能。6.AT自(略)定可設(shè)定自(略)定溫度或壓力值、自(略)定幅度,支持自(略)定過程中退出。7.報(bào)警點(diǎn)可設(shè)定,如:溫度上限,壓力上限。8.針(略)自我保護(hù)功能,如:a.PV超上限報(bào)警點(diǎn),將停止工藝。b.傳感器故障,將停止工藝。c.紅外儀對焦點(diǎn)檢測,若對焦不正,將停止工藝。d.控溫過程中,溫度PV-SV5℃時,將發(fā)出黃色報(bào)警。9.依據(jù)報(bào)警的重要程序,提示不同聲光報(bào)警信息并記錄。4(略)控制精度1.精度:a.液壓壓力傳感器響應(yīng)優(yōu)于2ms。b.控溫精度,溫度高于(略)℃時,對于石墨發(fā)熱體,保溫精度±1℃;(略).變壓器及聯(lián)接選用與使用功率相匹配的干式變壓器及銅排,變壓器安裝在控制柜內(nèi)。(略).其他為(略)散爐體重量,(略)板的承載,特將爐體下方布置有高度約(略)mm的碳鋼材質(zhì)的承重臺黑色,四面均設(shè)有叉車位,方便手動液壓搬運(yùn)車地牛的托運(yùn)。.參考(略)點(diǎn):當(dāng)?shù)?質(zhì)保期限:(略)年;響應(yīng)期限:報(bào)修后8小時;收到
信用證(略)%。依照國家三包政策和關(guān)于技術(shù)及售后服務(wù)相關(guān)法規(guī)執(zhí)行。保證提供的設(shè)備為全新的、先進(jìn)的、成熟的、完(略)的和安全可靠的,且其技術(shù)經(jīng)濟(jì)性能符合技術(shù)規(guī)范要求。以誠為本,竭誠為客戶服務(wù),我司在華東、西南、華北、西南、西北、華中均設(shè)有售后辦事處,自用戶水、電、氣齊全即派員赴(略)調(diào)試并免費(fèi)培訓(xùn)操作人員。提供一年調(diào)試單雙方簽字之日起免費(fèi)維修服務(wù)及長期免費(fèi)技術(shù)支持人為結(jié)構(gòu)破損壞和易損易耗件除外,維(略)時起2小時,(略)小時之內(nèi)派員到達(dá)設(shè)備(略)處理問題。;(略)-(略)-(略):(略):(略)查看內(nèi)容