超高真空全自動常溫鍵合機項目已具備招標(biāo)條件,招標(biāo)項目資金已落實(略)(招標(biāo)(略)公司西安飛行自動控制研究所(招標(biāo)人)的委托,對該項目進行國際公開招標(biāo)采購。
1. 招標(biāo)范圍
1.1 貨物名稱:超高真空全自動常溫鍵合機
1.2 招標(biāo)編號:(略)-(略)A(略)
1.3項目概況:
超高真空全自動常溫鍵合機用于量子傳感、硅光、MEMS等芯片的晶圓級密封封裝工藝,在超高真空環(huán)境中利用高速氬原子或離子轟擊晶圓,除去表面氧化膜及污染物,再施加一定壓力,使兩個表面在超高真空環(huán)境中緊密接觸,形成化學(xué)鍵,實現(xiàn)原子尺度上的牢固結(jié)合,在室溫下實現(xiàn)良好的鍵合,無需后續(xù)退火,消除熱膨脹系數(shù)不匹配造成的熱應(yīng)力問題;更多指標(biāo)詳見第八章技術(shù)規(guī)格。
關(guān)鍵技術(shù)參數(shù):
適用于(略)英寸晶圓,并可擴展至(略)英寸;
Mark鍵合對準精度:≤±2μm;
鍵合模塊壓力:最大(略)kN;
更多技術(shù)指標(biāo)詳見第八章。
1.4 數(shù)量:1臺。
1.5 交貨期:合同簽訂生效后(略)個月內(nèi)交貨。
1.6 (略)西安飛行自動控制研究所指定地點。
2. 對投標(biāo)人的資格要求
2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織,具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任能力。
2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo),代理商必須獲得制造商的合法授權(quán),提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直(略)開具的((略)的關(guān)系說明,并由雙方簽字或者蓋章)。
2.3本項目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
2.4投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機構(gòu)(略)并進行登記才具有投標(biāo)資格。
3. 招標(biāo)文件獲取
3.1凡有意參加投標(biāo)者,請于(略)年(略)月(略)日至(略)年(略)月(略)日(略)時(北京時間),(略)((略)www.(略).com)(略)匯款底單和(略),(略)不予受理。如有疑問,請致電(略)服務(wù)熱線(略)-(略)-(略)。
3.2 招標(biāo)文件售價人民幣(略)或(略)美(略),售后款項不予退還。潛在投標(biāo)人應(yīng)通過本鏈接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=(略)招標(biāo)文件費用,(略)后請自行提交電子發(fā)票申請(需再次進入鏈接(略)消費記錄后填寫開票信息),電子發(fā)票將自動(略)至申請時所填(略)。潛在投標(biāo)人將付款憑證(形式不限(略),經(jīng)招標(biāo)人(代理機構(gòu))確認后,才能獲得招標(biāo)文件的(略)權(quán)限。
3.3 投標(biāo)人必須在(略),(略)與電子簽章,否則無法投標(biāo)。(詳見(略)相關(guān)說明)。
4. 投標(biāo)文件的遞交
4.1投標(biāo)文件遞交的截止時間(投標(biāo)截止時間,下同)為(略)年(略)月(略)日9時(略)(北京時間),投標(biāo)人應(yīng)在截止時間前通過(略)((略)www.(略).com)(略)加密的電子版投標(biāo)文件,并在此時間前遞交單獨密封的紙質(zhì)版投標(biāo)文件(略)號西安亞(略)會議室。
4.2逾期送達的投標(biāo)文件,(略)將予以拒收。
4.3投標(biāo)人未按要求(略)加密電(略)無法獲取、解密投標(biāo)人(略)的電子版投標(biāo)文件,招標(biāo)人不予受理。
5. 開標(biāo)
開標(biāo)時間同投標(biāo)文件遞交的截止時間,開標(biāo)地點同投標(biāo)文件遞交地點。
6. 發(fā)布公告的媒介
本次招標(biāo)公告同時在(略)、中國(略)和(略)上發(fā)布。
7. 聯(lián)系方式
(略)公司西安飛行自動控制研究所
地址:(略)span>聯(lián)系人:(略)span>
電話:(略)-(略)
招標(biāo)(略)
地址:(略)pan>郵編: (略)
聯(lián)系人:(略)span>
電話: (略)-(略)
項目負責(zé)人:(略)pan>
電話:(略)-(略)、(略)-(略)
傳真:(略)-(略)
(略)p>
(略)年(略)月(略)日