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招標代理公司（立即查看） 受業(yè)主單位（立即查看） 委托，于2025-11-06在采購與招標網(wǎng)發(fā)布 金屬膜及介質膜干法刻蝕系統(tǒng)項目招標公告。現(xiàn)邀請全國供應商參與投標，有意向的單位請及時聯(lián)系項目聯(lián)系人參與投標。 投標邀請金屬膜（略）項目已具備招標條件。招標項（略）（招標（略）公司西安飛行自動控制研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。1.招標范圍1.1貨物名稱：金屬膜（略）1.2招標編號：（略）***********A（略）.3項目概況：本次金屬（略）設備招標采購旨采滿足科研生產需求，其包含全自動綜合反應離子刻蝕機1臺和金屬膜干法刻蝕機1臺，其中全自動綜合反應離子刻蝕機包含SiO2工藝腔和LN工藝腔各1個，金屬膜干法刻蝕機包含金屬工藝腔1個、去膠工藝腔1個。更多指標詳見第八章技術規(guī)格。金屬（略）主要技術指標如下：1.SiO2工藝腔：刻蝕速率≥（略）nmmin（SiO2）；選擇比≥1.5SiO2：PR；側壁傾（略）≥（略）°（要求PR側壁傾（略）≥（略）°）；片內均勻性≤3%；深寬比≥3:1（SiO2，2um線寬）；2.LN工藝腔：刻蝕速率≥（略）nmmin；選擇比≥0.5LN：PR；側壁傾（略）≥（略）°（要求PR側壁傾（略）≥（略）°）；片內均勻性≤5%；3.金屬工藝腔：刻蝕速率≥（略）nmmin（Al）；選擇比≥2Al：PR；側壁傾（略）≥（略）°；片內均勻性≤5%；4.去膠腔：去膠速率≥（略）nmmin；片內均勻性≤（略）%；片間均勻性≤3%；1.4數(shù)量：1套。1.5交貨期：合同簽訂后8個月內到貨。1.6（略）西安飛行自動控制研究所指定地點。2.對投標人的資格要求2.1投標人必須是響應招標的法人或其他組織，具有獨立承擔民事責任能力。2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供制造商授權書。授權書包括制造商直（略）開具的（（略）的關系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。2.3本項目不接受聯(lián)合體投標。2.4投標人必須向招標代理機構（略）并進行登記才具有投標資格。3.招標文件獲取3.1凡有意參加投標者，請于（略）年（略）月（略）日至（略）年（略）月（略）日（略）時北京時間，（略）（http:（略）.com）（略）匯款底單和（略）,（略）不予受理。如有疑問，請致電（略）服務熱線（略）-（略）-（略）。3.2招標文件售價人民幣（略）或（略）美（略），售后款項不予退還。潛在投標人應通過本鏈接:https:（略）.cnk.action?kpdm=5QCPZTjh=（略）招標文件費用，（略）后請自行提交電子發(fā)票申請需再次進入鏈接（略）消費記錄后填寫開票信息，電子發(fā)票將自動（略）至申請時所填（略）。潛在投標人將付款憑證（形式不限（略），經招標人代理機構確認后，才能獲得招標文件的（略）權限。3.3投標人必須在（略），（略）與電子簽章，否則無法投標。（詳見（略）相關說明）。4.投標文件的遞交4.1投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為（略）年（略）月（略）日9時（略）（北京時間），投標人應在截止時間前通過（略）（http:（略）.com）（略）加密的電子版投標文件，并在此時間前遞交單獨密封的紙質版投標文件（略）號西安亞（略）會議室。4.2逾期送達的投標文件，（略）將予以拒收。4.3投標人未按要求（略）加密電（略）無法獲取、解密投標人（略）的電子版投標文件，招標人不予受理。5.開標開標時間同投標文件遞交的截止時間，開標地點同投標文件遞交地點。6.發(fā)布公告的媒介本次招標公告同時在（略）、中國（略）和（略）上發(fā)布。7.聯(lián)系方式（略）公司西安飛行自動控制研究所地址：（略）與（略）口東南（略）郵編：（略）聯(lián)系人：（略）：（略）**********項目負責人：（略）**********、（略）**********傳真：（略）**（略）文