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i-line 光刻機(jī) 項目已具備招標(biāo)條件。招標(biāo)項目資金已落實(shí)。（略）（招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)）受 （略）公司西安飛行自動控制研究所 （招標(biāo)人）的委托， 對 該 項目進(jìn)行國際公開招標(biāo)采購。

1. 招標(biāo)范圍

1.1 貨物名稱： i-line 光刻機(jī)

1.2 招標(biāo)編號： （略）***********A（略）

1.3 項目概況：

i-line 光刻機(jī)用于量子傳感、硅光等芯片微結(jié)構(gòu)制造過程中的對準(zhǔn)曝光工藝。利用光化學(xué)反應(yīng)原理把事先制備在掩模版上的圖形轉(zhuǎn)印到晶圓表面涂覆的光刻膠上，再使用選擇性的刻蝕再轉(zhuǎn)印到襯底（晶圓）上，并最終形成傳感芯片所需的三維結(jié)構(gòu)。 i-line 光刻機(jī)由 i-line 光刻機(jī)、光刻機(jī)隔震臺組件等組成。更多指標(biāo)詳見第八章技術(shù)規(guī)格。

主要技術(shù)指標(biāo)：

適用于 （略） 英寸和 （略） 英寸晶圓；

設(shè)備傳片方式：機(jī)械手全自動傳片；

最?。裕┍媛?/span> ≤ 1um ；

支持全自動對準(zhǔn)，且具備正面 / 背面和紅外對準(zhǔn)功能；

對準(zhǔn)精度 : 正對準(zhǔn)≤ 0.5um ；背對準(zhǔn)≤ 1um ；紅外對準(zhǔn)精度≤ 1.5um ；

更多技術(shù)指標(biāo)詳見第八章。

1.4 數(shù)量：1套。

1.5 交貨期：合同簽訂生效后（略）個月內(nèi)交貨。

1.6 （略）西安飛行自動控制研究所指定地點(diǎn)。。

2. 對投標(biāo)人的資格要求

2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織，具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力。

2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直（略）開具的（（略）的關(guān)系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。

2.3本項目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

2.4投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)（略）并進(jìn)行登記才具有投標(biāo)資格。

3. 招標(biāo)文件獲取

3.1凡有意參加投標(biāo)者，請于（略）年（略）月（略）日至（略）年（略）月（略）日（略）時(北京時間)，（略）（http:（略）.com）（略）匯款底單和（略）,（略）不予受理。如有疑問，請致電（略）服務(wù)熱線（略）-（略）-（略）。

3.2 招標(biāo)文件售價人民幣（略）或（略）美（略），售后款項不予退還。潛在投標(biāo)人應(yīng)通過本鏈接:https:（略）.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=（略）招標(biāo)文件費(fèi)用，（略）后請自行提交電子發(fā)票申請(需再次進(jìn)入鏈接（略）消費(fèi)記錄后填寫開票信息)，電子發(fā)票將自動（略）至申請時所填（略）。潛在投標(biāo)人將付款憑證（形式不限（略），經(jīng)招標(biāo)人(代理機(jī)構(gòu))確認(rèn)后，才能獲得招標(biāo)文件的（略）權(quán)限。

3.3 投標(biāo)人必須在（略），（略）與電子簽章，否則無法投標(biāo)。（詳見（略）相關(guān)說明）。

4. 投標(biāo)文件的遞交

4.1 投標(biāo)文件遞交的截止時間（投標(biāo)截止時間，下同）為 （略） （略） 年 （略） 月 （略） 日 9時（略） （北京時間） ，投標(biāo)人應(yīng)在截止時間前通過 （略）（ http:（略）.com） （略） 加密的電子 版 投標(biāo)文件，并在此時間前遞交單獨(dú)密封的紙質(zhì)版投標(biāo)文件 （略） （略）號西安亞（略）會議室 。

4.2 逾期送達(dá)的投標(biāo)文件，（略）將予以拒收。

4.3 投標(biāo)人未按要求（略）加密電（略）無法獲取、解密投標(biāo)人（略）的電子版投標(biāo)文件，招標(biāo)人不予受理。

5. 開標(biāo)

開標(biāo)時間同投標(biāo)文件遞交的截止時間，開標(biāo) 地點(diǎn) 同投標(biāo)文件遞交地點(diǎn)。

6. 發(fā)布公告的媒介

本次招標(biāo)公告同時在（略）、中國（略）和（略）上發(fā)布。

（略） . 聯(lián)系方式

（略）公司西安飛行自動控制研究所

地址：（略）span>

聯(lián)系人：（略）span>

電話： （略）**********

招標(biāo)（略）

地址：（略）pan>（略）

郵編： （略）

聯(lián)系人：（略）span>

電話： （略）**********

項目負(fù)責(zé)人：（略）pan>

電話： （略）**********、（略）**********

傳真： （略）**********

電子（略）：

（略）年（略）月（略）日