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招標(biāo)代理公司（立即查看） 受業(yè)主單位（立即查看） 委托，于2025-11-13在采購與招標(biāo)網(wǎng)發(fā)布 光刻系統(tǒng) 招標(biāo)公告。現(xiàn)邀請全國供應(yīng)商參與投標(biāo)，有意向的單位請及時聯(lián)系項目聯(lián)系人參與投標(biāo)。 一（略）二、招標(biāo)編號：S（略）三、招標(biāo)人：（略）地址：（略）系人：（略）?（略）數(shù)量、主要性能參數(shù)基本要求本項目共（略）3標(biāo)段，所有標(biāo)段可兼投兼中。供應(yīng)商可選擇參與其中一個或多個標(biāo)段投標(biāo)，也可參與全部標(biāo)段投標(biāo)。標(biāo)段1：雙面對準(zhǔn)紫外光刻機（預(yù)算金額為（略））標(biāo)段2：（略）（預(yù)算金額為（略））標(biāo)段3：高精度3D無掩膜光刻設(shè)備（預(yù)算金額為（略））第一標(biāo)段雙面對準(zhǔn)紫外光刻機1臺1.光源類型：LED光源或汞燈等。2.曝光面積：8寸向下兼容。3.曝光波長：（略）mm:0-（略）mWcm2數(shù)字連續(xù)可調(diào)。4.（略）辨力：1μm。5.對準(zhǔn)精度：1.2μm單面，2μm雙面，片厚≤0.8mm。6.正面面對準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像，物鏡軸距范圍（略）mm?（略）mm。7.底面面對準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像，物鏡軸距范圍（略）mm-（略）mm。8.具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能。9.照明不均勻性:士2%Ф（略）mm范圍，士3%Ф（略）mm范圍。（略）.質(zhì)保期不少于（略）年。第二標(biāo)段（略）1套1.激光脈沖時域特性測量1.1輸入脈沖波長范圍：（略）nm?（略）nm。1.2脈寬長度測試范圍：7fs?（略）ps。1.3掃描范圍：最大到（略）ps。1.4掃描（略）辨率≤2fs。1.5最小延遲增量：1fs。1.6光譜（略）辨率：0.6nm?1nm。1.7光譜范圍：（略）nm?（略）nm。1.8脈沖復(fù)雜度：TBWP≤（略）。1.9強度精度：~2%。1.（略）相位精度：0.（略）radians。1.（略）實時靈敏度：~4W2。1.（略）平均靈敏度：~0.（略）W2。1.（略）輸入光斑直徑：2mm~8mm,準(zhǔn)直。1.（略）極化方向：水平。1.（略）采集速度：≥2Hz（略）x（略）柵格。2.激光空域特性測量2.1全自動（略）析激光光束質(zhì)量：光斑大小、能量（略）、高斯擬合度、光斑指向穩(wěn)定性、M2因子、發(fā)散（略）等，所有結(jié)果均符合ISO標(biāo)準(zhǔn)。2.2響應(yīng)波長范圍：（略）nm?（略）nm。2.3最大測量光斑大?。?.7×5.6mm。2.4（略）辨率：（略）×（略）。2.5像素大小：2.（略）×2.（略）μm。2.6動態(tài)范圍：（略）dB。2.7速度快：1（略）鐘內(nèi)出結(jié)果，并可輸出PDF測量結(jié)果報告以及多種格式的日志。2.8含自動衰減器。2.9連續(xù)和脈沖激光均可測量。3.激光波形捕獲特性測量3.1（略）帶寬：2GHz。3.2?4個（略），（略）個（略），1個E（略）T（略）。3.3最高實時采樣率：（略）GSas非交織模式。3.4最高存儲深度：（略）Mpts。3.5波形捕獲率高于（略）,（略）個波形每秒。3.6選配支持眼圖和抖動（略）析需（略）選件。3.7垂直靈敏度范圍：1mVdiv-（略）Vdiv1MΩ。3.8時基范圍：（略）psdiv-1ksdiv。3.9水平模式：YT,（略）Y,S（略）N,ROLL。3.（略）多達（略）幀的硬件實時波形不間斷錄制和回放功能。3.（略）自動測量：精確測量和普通測量兩種模式，支持全內(nèi)存硬件精確測量。3.（略）提供數(shù)字電壓表、6位頻率計和累加器。4.激光光譜特性測量4.1測試光譜范圍：（略）nm?（略）nm。4.2最小波長（略）辨率≤0.（略）nm。4.3可測量功率范圍：-（略）dBm~+（略）dBm。4.4全波長范圍波長精度≤±0.2nm。4.（略）nm處波長精度≤±0.（略）nm。4.6最大采樣點數(shù)≥（略）。4.7功率精度≤±1.0dB。4.8功率線性度≤±0.2dB。4.9輸入方式：空間結(jié)構(gòu)，兼容單模、多模、大芯徑光纖接入測試。4.（略）模式：（略）模式，支持后續(xù)功能性測試便于使用。4.（略）動態(tài)范圍：（略）dB。5.激光頻譜特性測量5.1頻率范圍：（略）Hz?7.5GHz。5.2（略）辨率帶寬：1Hz?（略）MHz。5.3單（略）描點數(shù)：（略）。5.8內(nèi)置（略）析帶寬：（略）MHz。5.9掃描時間：1μsto（略）s。5.（略）IQ數(shù)據(jù)存儲深度：（略）Msa。5.（略）二次諧波截止點SHT：（略）dBm。5.（略）ADC無雜散動態(tài)范圍：–（略）dBc。5.（略）三（略）多點觸控中文顯示屏，（略）×（略）辨率。5.（略）配置SCPI命令自動記錄SCPIRecording功能。6.激光熱特性測量6.1紅外（略）辨率：探測器物理（略）辨率（略）×（略），具備超像素功能，（略）辨率增強至（略）×（略）。6.2探測器類型：非制冷型紅外焦平面探測器。6.3熱靈敏度：（略）mk0.（略）°C。6.4紅外鏡頭視（略）：（略）°×（略）°。6.5空間（略）辨率IFOV：0.（略）mrad。6.6測溫量程：-（略）℃至+（略）℃，可選配-（略）℃低溫擴展和（略）℃高溫擴展。6.7測溫精度：0°C至+（略）°C范圍內(nèi)，測溫精度為±1°C；其它量程為±2°C或±2%。6.8圖像幀頻：（略）Hz。6.9響應(yīng)波長：7μm?（略）μm。6.（略）數(shù)碼變焦：1-（略）倍連續(xù)變焦。6.（略）對焦方式：連續(xù)自動對焦，對比度自動對焦、手動對焦，激光自動對焦。6.（略）高溫差均衡成像技術(shù)：有效屏蔽高溫?zé)嵩锤蓴_，清晰顯示被測物熱梯度變化，避免黑屏式顯示。6.（略）復(fù)合調(diào)色聚焦成像技術(shù)：復(fù)雜場景中（略）析特定目標(biāo)的細(xì)微溫差，有利于（略）快速得出正確的診斷結(jié)論。6.（略）細(xì)節(jié)增強成像：能在實時熱像畫面中，通過觸控的方式呈（略）域的彩色熱成像，（略）域則以黑白熱成像顯示，大幅度增強復(fù)雜場景中特定目標(biāo)的細(xì)微溫差成像效果，有利于測試過程中發(fā)現(xiàn)細(xì)微的熱梯度變化。7.質(zhì)保期不少于（略）年。第三標(biāo)段高精度3D無掩膜光刻設(shè)備1臺1.配置1.1高速聲光掃描器（AOD）一套。1.2半導(dǎo)體激光器一套。1.3大理石底座及氣浮防震裝置一套。1.4（略）一套。1.5（略）一套。1.6（略）一套。1.7?寫頭1個。1.8監(jiān)控裝置及測量（略）一套。1.9（略）一套。1.（略）溫控防塵罩一套。2.工作場地條件2.1潔凈等級:Class（略）。2.2電力要求：（略）VAC±5%，（略）Hz，（略）A。2.3氣溫范圍：（略）℃～（略）℃，穩(wěn)定性±1℃。2.4相對濕度：（略）％±（略）%。2.5震動等級優(yōu)于VC-C。2.6照明采用安全黃光。3.主要技術(shù)指標(biāo)3.1（略）數(shù)：1。3.2直寫寫頭數(shù)量：1。3.2.1一般寫頭：最小特征尺寸≤0.5μm，寫入速度≥（略）mm2min。3.2.2寫頭需包含閉環(huán)壓電與閉環(huán)電機。3.3最高（略）辨率≤（略）nm。3.4套刻精度≤（略）nm。3.5灰度等級（略）。3.6最小線寬間距≤2um。3.7線寬均勻性≤（略）nm最高（略）辨率條件下。3.8配置中空位移臺，開孔尺寸不小于（略）mm×（略）mm。3.9配置鏤空真空吸附臺，適用于背部對準(zhǔn)。3.（略）可接受最大基板尺寸≥8×8英寸。3.（略）有效曝光面積≥（略）×（略）mm2。3.（略）可接受基板厚度：0.1mm?（略）mm。3.（略）溫控防塵罩：溫度控制：±0.1℃場地環(huán)境控制在±1℃。3.（略）激光發(fā)生器3.（略）.1激光器種類：半導(dǎo)體激光器。3.（略）.2激光器波段：（略）nm。3.（略）.3激光能量≥（略）mW。3.（略）：由一組高精密光學(xué)（略）件加上聲光調(diào)制器AOM及聲光偏轉(zhuǎn)器AOD組成。3.（略）：利用高精密（略）膨脹光柵尺反饋來控制線性電機的移動，位移臺控制器：AEROTECH線性放大器，Automation1-i（略）L2e，包含（略）倍頻模塊，雙軸PSO。3.（略）自動跟焦范圍：（略）μm。3.（略）：可控制激光曝光、線寬（略）移動。可將通用數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換為光刻使用的數(shù)據(jù)格式，再通過將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為激光束偏轉(zhuǎn)信號在襯底上曝光出所需圖形。數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換（略）基本功能：圖形鏡像處理、圖形縮小放大處理、圖形旋轉(zhuǎn)（略）度處理、激（略）域選擇和繪圖讀寫頭選擇3.（略）基板背向?qū)?zhǔn)功能：背向?qū)?zhǔn)精度≤1μm。4.質(zhì)保期不少于（略）年。五、評（略）標(biāo)準(zhǔn)本次招標(biāo)采用綜合評（略）法，總（略）為（略）。本評（略）標(biāo)準(zhǔn)適用于所有標(biāo)段，具體內(nèi)容如下：（一）針對中小企業(yè)、殘疾人福利企業(yè)和監(jiān)獄企（略）采購促進中小企業(yè)發(fā)展管理辦法》（財庫〔（略）〕（略）號）、（略）采購支持中小企業(yè)力度的通知》（蘇財購〔（略）〕（略）號（略）采購政策的通知》（（略）采購支持監(jiān)獄企業(yè)發(fā)展有關(guān)問題的通知》（財庫〔（略）〕（略）號）的有關(guān)規(guī)定，對于符合上述文件規(guī)定情形的小微企業(yè)、殘疾人福利性單位及監(jiān)獄企業(yè)報價給予（略）%的扣除，用扣除后的價格參與評審，如扣除后的價格為最低價的，則作為評標(biāo)基準(zhǔn)價，中標(biāo)金額則以實際投標(biāo)報價為準(zhǔn)。殘疾人福利性單位屬于小型、微型企業(yè)的，不重復(fù)享受政策。小微企業(yè)提供《中小企業(yè)聲明函》；監(jiān)獄企業(yè)（略）級以上（略）、（略）（含新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團）出具的屬于監(jiān)獄企業(yè)的證明文件；殘疾人福利性單位提供《殘疾人福利性單位聲明函》。注：①填報“中小企業(yè)聲明函”需嚴(yán)格按“工信部聯(lián)企業(yè)〔（略）〕（略）號通知中的《中小企業(yè)劃型標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定》進行。②若供應(yīng)商提供的聲明函或（略）采（略）監(jiān)管（略）采購促進中小企業(yè)發(fā)展管理辦法》（財庫〔（略）〕（略）號）及《中小企業(yè)劃型標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定》（工信部聯(lián)企業(yè)〔（略）〕（略）號），本采購標(biāo)的對應(yīng)的中小企業(yè)劃（略）標(biāo)準(zhǔn)所屬行業(yè)（略）工業(yè)。（二）技術(shù)參數(shù)、配置及（略）體綜合性能（略）（（略））1．技術(shù)參數(shù)及配置（（略））以供應(yīng)商提供的能直接反映該產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)的彩頁或產(chǎn)品說明書等作為主要評判依據(jù)，其他情況由評標(biāo)委員會根據(jù)實際情況進行評判。（1）所提供產(chǎn)品多項不滿足招標(biāo)公告要求（偏離），或參數(shù)偏離超出用戶教學(xué)、科研可接受范圍的，經(jīng)評標(biāo)委員會評審可作為無效響應(yīng)文件。（2）所提供產(chǎn)品不滿足招標(biāo)公告要求（偏離）、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏項的，每處扣2（略）。2．綜合性能情況（（略））（1）所提供產(chǎn)品性能參數(shù)優(yōu)于招標(biāo)文件中技術(shù)要求情況（評標(biāo)委員會認(rèn)為超出指標(biāo)有意義的）（6（略））。其中優(yōu)于項，每處加2（略）。（2）所提供（略）場反饋情況（9（略））。根據(jù)所提供產(chǎn)品的品牌影響力、（略）場占有率（同行業(yè)為主）、現(xiàn)有用戶的反饋情況、使用提供產(chǎn)品發(fā)表的學(xué)術(shù)論文情況等綜合評定。（三）價格（略）（（略））1．基準(zhǔn)價：滿足招標(biāo)文件要求且價格最低的報價為基準(zhǔn)價，基準(zhǔn)價為滿（略）。2．其他供應(yīng)商的報價得（略）按照下列公式計算：報價得（略）＝（基準(zhǔn)價／報價）×（略）。（（略）（（略））1．綜合實力（2（略））根據(jù)供應(yīng)商綜合實力評定。2．售后服務(wù)與培訓(xùn)情況等（（略））（1）質(zhì)保期（3（略））。符合招標(biāo)文件要求的，得1（略），每增加一年質(zhì)保期加1（略）。（2）服務(wù)、技術(shù)支持與培訓(xùn)承諾情況（7（略））。根據(jù)招標(biāo)文件（略）點設(shè)置情況、服務(wù)響應(yīng)時間、現(xiàn)有用戶對產(chǎn)品售后服務(wù)情況及服務(wù)水平的反饋等綜合評定。3．其它優(yōu)惠措施等（3（略））根據(jù)供應(yīng)商提供的在招標(biāo)文件要求范圍以外，評標(biāo)委員會認(rèn)可的優(yōu)惠措施綜合評定。六、本次招標(biāo)采用一次性報價。報價應(yīng)包括稅金、國際國內(nèi)運輸費、保險和其他為完成本項目所發(fā)生的一切費用。七、供應(yīng)商資質(zhì)要求（一）