一、項目名稱：磁控濺射鍍膜儀
二、項目編號：S（略）*****
三、采購人：（略）
地址：（略）****
聯(lián)系人：（略） 電話：（略）***********，（略）***（略）聯(lián)系人：（略） 電話：（略）******（略）采購貨物品名、數(shù)量及主要性能參數(shù)要求
磁控濺射鍍膜儀 1套
（一）主要技術(shù)性能指標(biāo)要求
1.1濺射室規(guī)格尺寸：方形結(jié)構(gòu)，前后開門，內(nèi)徑尺寸≥寬（略）mm×深（略）mm×高（略）mm；
1.2極限真空≤5.0×（略）-5Pa；
1.3設(shè)備抽速：由大氣抽至8.0×（略）-4Pa≤（略）min（設(shè)備充干燥N2破真空）；
1.4設(shè)備保壓：關(guān)機(jī)（略）小時后真空度≤5Pa；
1.5工件盤尺寸：Φ6英寸晶圓及向下兼容；工件臺轉(zhuǎn)速：0rpm～（略）rpm；
1.6加熱工件臺溫控范圍≥室溫～（略）℃，多段控溫，控溫精度±1℃；
1.7磁控靶指標(biāo)≥Φ3英寸，1套強(qiáng)磁靶及2套永磁靶，（略）度：0°～（略）°連續(xù)可調(diào)，調(diào)節(jié)精度±0.5°；
1.8直流濺射電源，功率≥（略）W，（略）別濺射金屬材料以及導(dǎo)電性材料
1.9射頻濺射電源，功率≥（略）W，（略）別可濺射介質(zhì)材料、磁性材料以及其他材料
1.（略）鍍膜不均勻性≤±4%（Φ6英寸范圍內(nèi)）
1.（略）壓力控制范圍：0.5Pa～2.0Pa，精度±0.（略）Pa；
1.（略）：3（略）質(zhì)量流量控制器，Ar（（略）sccm）、O2（（略）sccm）、N2（（略）sccm）；
（二）主要配置要求
2.1腔室數(shù)量：1個
2.2機(jī)架數(shù)量：1個
2.3前級渦旋干泵：峰值抽速（略）m3/h；極限真空0.（略）mbar，靜態(tài)密封性≤1×（略）-6mbar/1s，1臺
2.4高真空（略）子泵：脂潤滑抽速≥（略）L/S，1臺
2.5高真空電動插板閥≥Φ（略）mm
2.6擋板閥：KF（略），2個
2.7全量程復(fù)合真空計：1套
2.8（略）壓力計：1套
2.9工藝規(guī)：皮拉尼計，1個
2.（略）磁控靶：3英寸，帶（略）度調(diào)節(jié),3只
2.（略）直流電源≥（略）W，1臺
2.（略）射頻電源及配套匹配器≥（略）W，功率精度滿足設(shè)定值的1%或額定功率的0.1%，2套
2.（略）偏壓電源≥-（略）V，1臺
2.（略）質(zhì)量流量計：（略）sccm Ar、（略）sccm O2，（略）sccm N2，各1臺，線性精度滿足±0.5%F.S；重復(fù)性滿足±0.2%F.S；
2.（略）工件臺：加熱模式，1套
2.（略）加熱器：石英燈管加熱器，1套
2.（略），1套
2.（略），1套（含PLC、液晶顯示器、工控機(jī)等）
2.（略）控制（略），1套
2.（略）循環(huán)水機(jī)，1套
2.（略）空氣壓縮機(jī)，1套
（三）質(zhì)保期不少于（略）年（驗收合格后起算）。
五、評（略）標(biāo)準(zhǔn)
本次磋商采用綜合評（略）法，總（略）為（略），具體內(nèi)容如下：
（一）技術(shù)參數(shù)、配置及（略）體綜合性能（略）（（略））
1．技術(shù)參數(shù)及配置（（略））
以供應(yīng)商提供的能直接反映該產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)的彩頁或產(chǎn)品說明書等作為主要評判依據(jù)，其他情況由磋商小組根據(jù)實際情況進(jìn)行評判。
（1）所提供產(chǎn)品多項不滿足磋商公告要求（偏離），或參數(shù)偏離超出用戶教學(xué)、科研可接受范圍的，經(jīng)磋商小組評審可作為無效響應(yīng)文件。
（2）所提供產(chǎn)品不滿足磋商公告要求（偏離）、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏項的，每處扣3（略）。
2．綜合性能情況（（略））
（1）所提供產(chǎn)品性能參數(shù)優(yōu)于競爭性磋商文件中技術(shù)要求情況（磋商小組認(rèn)為超出指標(biāo)有意義的）（6（略））。其中優(yōu)于項，每處加2（略）。
（2）所提供（略）場反饋情況（9（略））。根據(jù)所提供產(chǎn)品的品牌影響力、（略）場占有率（同行業(yè)為主）、現(xiàn)有用戶的反饋情況等綜合評定。
（二）價格（略）（（略））
1．基準(zhǔn)價：滿足競爭性磋商文件要求且價格最低的報價為基準(zhǔn)價，基準(zhǔn)價為滿（略）；
2．其他供應(yīng)商的報價得（略）按照下列公式計算：報價得（略）＝（基準(zhǔn)價／報價）×（略）。
（（略）（（略））
1．綜合實力（3（略））
根據(jù)供應(yīng)商綜合實力評定。
2．售后服務(wù)與培訓(xùn)情況等（（略））
（1）質(zhì)保期（3（略））。符合磋商文件要求的，得1（略），每增加一年質(zhì)保期加1（略）。
（2）服務(wù)、技術(shù)支持與培訓(xùn)承諾情況（7（略））。
根據(jù)磋商響應(yīng)文件（略）點設(shè)置情況、服務(wù)響應(yīng)時間、現(xiàn)有用戶對產(chǎn)品售后服務(wù)情況及服務(wù)水平的反饋等綜合評定。
3．其它優(yōu)惠措施等（2（略））
根據(jù)供應(yīng)商提供的在磋商文件要求范圍以外，磋商小組認(rèn)可的優(yōu)惠措施綜合評定。
六、磋商響應(yīng)報價應(yīng)包括所報儀器設(shè)備費(fèi)、安裝調(diào)試費(fèi)、測試驗收費(fèi)、培訓(xùn)費(fèi)、運(yùn)行維護(hù)費(fèi)、稅金（含美國產(chǎn)品被加征關(guān)稅）、國際國內(nèi)運(yùn)輸費(fèi)、保險和其他為完成本項目所發(fā)生的一切費(fèi)用。
七、供應(yīng)商資質(zhì)要求
（一）具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力；
（二）具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財務(wù)會計制度；
（三）具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力；
（四）有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄；
（五）近三年內(nèi)，在經(jīng)營活動中沒有重大違法記錄；
（六）本項目不接受聯(lián)合體報價。
八、磋商響應(yīng)文件的組成
（一）磋商響應(yīng)文件一般由下列材料組成（部（略）表格樣式見附件1），復(fù)印件須加蓋供應(yīng)商公章，所有材料須按序裝訂成冊：
1. 目錄（磋商響應(yīng)資料與頁碼對照表，原件）。
2. 磋商響應(yīng)函（原件）。
3. 響應(yīng)基本情況一覽表（原件）。
4. 詳細(xì)配置清單（原件）。
5. 技術(shù)規(guī)格偏離表（原件）。
6. （略）業(yè)績、公司榮譽(yù)等，原件）。
7. 資格證明材料
（1）營業(yè)執(zhí)照、稅務(wù)登記證以及組織機(jī)構(gòu)代碼證（復(fù)印件）。
（2）法定代表人授權(quán)書（原件）。
（3）法定代表人（略）明材料（如（略）、護(hù)照等）（復(fù)印件）。
（4）法人授權(quán)代表（略）明材料（如（略）、護(hù)照等）及單位社保證明（復(fù)印件）。
（5）供應(yīng)商最新的年度審計報告或財務(wù)報告（復(fù)印件）。
（6）儀器設(shè)備生產(chǎn)或經(jīng)營企業(yè)許可證（復(fù)印件，特殊行業(yè)必須提供）。
（7）儀器設(shè)備銷售代理授權(quán)證明（進(jìn)口貨物非生產(chǎn)制造廠商投標(biāo)的，須按第2.2條要求提供，專項授權(quán)書提供原件、代理證書提供復(fù)印件）。
（8（略）出具的質(zhì)量體系認(rèn)證證書（例如：ISO、FDA、CE、3C等，國家強(qiáng)制要求的設(shè)備必須提供，復(fù)印件）。
（9）近三年來與本次磋商儀器設(shè)備相同產(chǎn)品的用戶名單及聯(lián)系方式（以教學(xué)、科研用戶為主，原件）。
8. 服務(wù)措施、服務(wù)承諾（主要包括針對本項目的服務(wù)、培訓(xùn)方案及其他優(yōu)惠措施等）（原件）。
9. 供應(yīng)商認(rèn)為應(yīng)該提供的其他材料。
（二）特別說明
1. “磋商響應(yīng)文件”應(yīng)裝訂并密封，并加蓋投標(biāo)單位公章。
2. 正本一份，副本三份，如副本與正本有出入，以正本為準(zhǔn)；
3. 相關(guān)材料及填寫規(guī)范按照《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》第三條“投標(biāo)文件”中的具體要求執(zhí)行。
九、貨物交貨期、交貨地點、付款方式、安裝、調(diào)試、驗收以及售后服（略）要求，參照《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》第（略）條中的要求執(zhí)行。
十、磋商文件價格：人民幣（略）（相關(guān)繳納事宜詳見附件3），售后不退。
十一、供應(yīng)商在（略）前，須認(rèn)真閱讀《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有條款及要求，并在（略）年（略）月（略）日（略）：（略）前將（略）函（格式（略）十二、遞交磋商響應(yīng)文件相關(guān)事宜：
（一）順豐快遞（建議優(yōu)先采用）
1. 寄達(dá)時間：（略）年（略）月（略）日9：（略）前；
2. 收件人信息：
收件人：（略）p>
聯(lián)系方式：（略）*********
收件地址：（略）1. （略）遞交時間：（略）年（略）月（略）日8：（略）～9：（略）
2. （略）遞交地址：（略）時間：（略）年（略）月（略）日9：（略）。
十四、磋商時間：（略）年（略）月（略）日9：（略）。
磋商性公告附件.zip
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