一、項目名稱：反應(yīng)離子刻蝕機
二、項目編號：S（略）*****
三、采購人：（略）
地址：（略）****
聯(lián)系人：（略） 電話：（略）***********，（略）***（略）聯(lián)系人：（略） 電話：（略）******（略）采購貨物品名、數(shù)量及主要性能參數(shù)要求
反應(yīng)離子刻蝕機 1套
（一）主要技術(shù)性能指標要求
1.1刻蝕室：優(yōu)質(zhì)鋁材質(zhì)，自動開蓋結(jié)構(gòu)，腔體內(nèi)徑≥Φ（略）mm×（略）mm
1.2極限真空≤2.0×（略）-4Pa；
1.3設(shè)備升壓率≤0.（略）Pa.L/S；
1.4偏壓電極尺寸≥Φ（略）mm；
1.5射頻電源功率≥（略）W，帶自動匹配；
1.6（略）：SF6、CF4、CHF3、O2、Ar、N2；
1.7壓力控制范圍：0.5Pa～5.0Pa，精度±0.（略）Pa；
1.8刻蝕不均勻性：Φ6英寸≤±3.5%（去除邊緣5mm）；
1.9刻蝕速率：Si≥ （略）nm/min， SiO2≥ （略）nm/min；
1.（略）電極控溫范圍：0℃～（略）℃；
（二）主要配置要求
2.1刻蝕工藝腔及機架，1套
2.2前級渦旋干泵：帶防腐涂層，峰值抽速（略）m3/h；極限真空0.（略）mbar，靜態(tài)密封性≤1×（略）-6mbar/ls,1臺
2.3高真空（略）子泵，抽速≥（略）L/S，1臺
2.4高真空電動插板閥，Φ（略）mm
2.5全量程復合真空計，1套
2.6（略）壓力計，1套
2.7工藝薄膜硅，1個
2.8電容耦合電極，1套
2.9電容耦合偏壓射頻電源及配套匹配器≥（略）W，功率精度滿足設(shè)定值的1%或額定功率的0.1%，1套
2.（略）質(zhì)量流量控制器，SF6、CHF3、CF4、O2、Ar、N2各1臺，線性精度滿足±0.5%F.S；重復性滿足±0.2%F.S；
2.（略），1套（含水機）
2.（略），1套（含西門子PLC、液晶顯示器、工控機等）
2.（略）控制（略），1套（C#）
（三）質(zhì)保期不少于（略）年（驗收合格后起算）。
五、評（略）標準
本次磋商采用綜合評（略）法，總（略）為（略），具體內(nèi)容如下：
（一）技術(shù)參數(shù)、配置及（略）體綜合性能（略）（（略））
1．技術(shù)參數(shù)及配置（（略））
以供應(yīng)商提供的能直接反映該產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)的彩頁或產(chǎn)品說明書等作為主要評判依據(jù)，其他情況由磋商小組根據(jù)實際情況進行評判。
（1）所提供產(chǎn)品多項不滿足磋商公告要求（偏離），或參數(shù)偏離超出用戶教學、科研可接受范圍的，經(jīng)磋商小組評審可作為無效響應(yīng)文件。
（2）所提供產(chǎn)品不滿足磋商公告要求（偏離）、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏項的，每處扣3（略）。
2．綜合性能情況（（略））
（1）所提供產(chǎn)品性能參數(shù)優(yōu)于競爭性磋商文件中技術(shù)要求情況（磋商小組認為超出指標有意義的）（6（略））。其中優(yōu)于項，每處加2（略）。
（2）所提供（略）場反饋情況（9（略））。根據(jù)所提供產(chǎn)品的品牌影響力、（略）場占有率（同行業(yè)為主）、現(xiàn)有用戶的反饋情況等綜合評定。
（二）價格（略）（（略））
1．基準價：滿足競爭性磋商文件要求且價格最低的報價為基準價，基準價為滿（略）；
2．其他供應(yīng)商的報價得（略）按照下列公式計算：報價得（略）＝（基準價／報價）×（略）。
（（略）（（略））
1．綜合實力（3（略））
根據(jù)供應(yīng)商綜合實力評定。
2．售后服務(wù)與培訓情況等（（略））
（1）質(zhì)保期（3（略））。符合磋商文件要求的，得1（略），每增加一年質(zhì)保期加1（略）。
（2）服務(wù)、技術(shù)支持與培訓承諾情況（7（略））。
根據(jù)磋商響應(yīng)文件（略）點設(shè)置情況、服務(wù)響應(yīng)時間、現(xiàn)有用戶對產(chǎn)品售后服務(wù)情況及服務(wù)水平的反饋等綜合評定。
3．其它優(yōu)惠措施等（2（略））
根據(jù)供應(yīng)商提供的在磋商文件要求范圍以外，磋商小組認可的優(yōu)惠措施綜合評定。
六、磋商響應(yīng)報價應(yīng)包括所報儀器設(shè)備費、安裝調(diào)試費、測試驗收費、培訓費、運行維護費、稅金（含美國產(chǎn)品被加征關(guān)稅）、國際國內(nèi)運輸費、保險和其他為完成本項目所發(fā)生的一切費用。
七、供應(yīng)商資質(zhì)要求
（一）具有獨立承擔民事責任的能力；
（二）具有良好的商業(yè)信譽和健全的財務(wù)會計制度；
（三）具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力；
（四）有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄；
（五）近三年內(nèi)，在經(jīng)營活動中沒有重大違法記錄；
（六）本項目不接受聯(lián)合體報價。
八、磋商響應(yīng)文件的組成
（一）磋商響應(yīng)文件一般由下列材料組成（部（略）表格樣式見附件1），復印件須加蓋供應(yīng)商公章，所有材料須按序裝訂成冊：
1. 目錄（磋商響應(yīng)資料與頁碼對照表，原件）。
2. 磋商響應(yīng)函（原件）。
3. 響應(yīng)基本情況一覽表（原件）。
4. 詳細配置清單（原件）。
5. 技術(shù)規(guī)格偏離表（原件）。
6. （略）業(yè)績、公司榮譽等，原件）。
7. 資格證明材料
（1）營業(yè)執(zhí)照、稅務(wù)登記證以及組織機構(gòu)代碼證（復印件）。
（2）法定代表人授權(quán)書（原件）。
（3）法定代表人（略）明材料（如（略）、護照等）（復印件）。
（4）法人授權(quán)代表（略）明材料（如（略）、護照等）及單位社保證明（復印件）。
（5）供應(yīng)商最新的年度審計報告或財務(wù)報告（復印件）。
（6）儀器設(shè)備生產(chǎn)或經(jīng)營企業(yè)許可證（復印件，特殊行業(yè)必須提供）。
（7）儀器設(shè)備銷售代理授權(quán)證明（進口貨物非生產(chǎn)制造廠商投標的，須按第2.2條要求提供，專項授權(quán)書提供原件、代理證書提供復印件）。
（8（略）出具的質(zhì)量體系認證證書（例如：ISO、FDA、CE、3C等，國家強制要求的設(shè)備必須提供，復印件）。
（9）近三年來與本次磋商儀器設(shè)備相同產(chǎn)品的用戶名單及聯(lián)系方式（以教學、科研用戶為主，原件）。
8. 服務(wù)措施、服務(wù)承諾（主要包括針對本項目的服務(wù)、培訓方案及其他優(yōu)惠措施等）（原件）。
9. 供應(yīng)商認為應(yīng)該提供的其他材料。
（二）特別說明
1. “磋商響應(yīng)文件”應(yīng)裝訂并密封，并加蓋投標單位公章。
2. 正本一份，副本三份，如副本與正本有出入，以正本為準；
3. 相關(guān)材料及填寫規(guī)范按照《蘇州大學招標采購儀器設(shè)備投標人須知》第三條“投標文件”中的具體要求執(zhí)行。
九、貨物交貨期、交貨地點、付款方式、安裝、調(diào)試、驗收以及售后服（略）要求，參照《蘇州大學招標采購儀器設(shè)備投標人須知》第（略）條中的要求執(zhí)行。
十、磋商文件價格：人民幣（略）（相關(guān)繳納事宜詳見附件3），售后不退。
十一、供應(yīng)商在（略）前，須認真閱讀《蘇州大學招標采購儀器設(shè)備投標人須知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有條款及要求，并在（略）年（略）月（略）日（略）：（略）前將（略）函（格式（略）十二、遞交磋商響應(yīng)文件相關(guān)事宜：
（一）順豐快遞（建議優(yōu)先采用）
1. 寄達時間：（略）年（略）月（略）日9：（略）前；
2. 收件人信息：
收件人：（略）p>
聯(lián)系方式：（略）*********
收件地址：（略）1. （略）遞交時間：（略）年（略）月（略）日9：（略）～9：（略）
2. （略）遞交地址：（略）時間：（略）年（略）月（略）日9：（略）。
十四、磋商時間：（略）年（略）月（略）日9：（略）。
磋商性公告附件.zip
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