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申購單編號: （略）

申購單主題: 4寸射頻探針臺

申購具體單位: （略）

申購單位: 中山大學

申購備注:

商品名稱: 4寸射頻探針臺

型號: MC-MS-4-T

數(shù)量: 1.0

規(guī)格: 技術指標： 1、標配同軸卡盤，配三軸超低漏電 2、CT-（略）水平電磁鐵可配合探針臺使用，為4英寸晶圓施加水平磁場，磁場強度優(yōu)于（略）Gs 3、重量 （略）公斤左右 4、尺寸: 約（略）mm長*（略）mm寬*（略）mm高 5、4" （略）真空吸附孔和多圈真空吸附環(huán)固定樣品，每個（略）均獨立控制卡盤帶1個香蕉頭接口，可以接背電極使用 6（略）吸附孔為1mm直徑，數(shù)量2個，可以根據(jù)客戶要求定制 7、卡盤采用（略）-Y平移滑臺形式，（略）/Y方向的行程是:4英寸*4英寸，調(diào)節(jié)控制精度（略）8（略），精磨鍍鎳 9、卡盤的旋轉(zhuǎn)（略）度：（略）度 （略）、卡盤（略）度可旋轉(zhuǎn)微調(diào)±7.5°，調(diào)節(jié)精度0.1° （略）、卡盤電學獨立懸空，帶香蕉頭插口，可以作為背電極使用 （略）、卡盤微調(diào)升降，總行程（略）mm，調(diào)節(jié)控制精度1微米 （略）、支持探針卡夾具和探針卡安裝，臺面預留探針卡夾具安裝孔 （略）、★配置一套S參數(shù)測量模塊：頻率范圍（略） kHz-（略）GHz，支持雙端口測量，動態(tài)范圍（略）dB，幅度（略）辨率0.（略）dB，輸出功率設置范圍-（略） dBm ~ +（略） dBm，支持LAN，USB Device，USB Host（USB-GPIB）通信，支持SCPI/ Labview/ IVI based on USB-TMC/ V（略）I-（略）/ Socket/ Telnet/ WebServer遠程控制 （略）、配（略）絡（略）析儀*1，（CCS-（略））高溫卡盤*1，（（略）-GSG-（略）-AA）射頻探頭*4，（MZDH（略）C）單筒視頻顯微鏡*1，高精度探針座（精度0.（略） 微米）MTP-（略）*2，（（略）F（略）M（略）PHB）CCD相機*1，（略）寸顯示器*1，（MTP-（略）-RF ）射頻探針調(diào)節(jié)機構*2，GSG探針校準基片*2，有源探針夾具（略）C*1。

售后服務: 交付方式：送貨至中山大學（略）理學園東實驗室； 其他售后要求：1（略）師上門安裝培訓指導，要求原廠售后。 2、在保修期內(nèi)出現(xiàn)故障后，2小時內(nèi)響應，（略）小時內(nèi)到達（略），7天內(nèi)處理完畢。如果7天內(nèi)無法修復，免費提供代用設備或免費更換新設備，并且性能指標不低于原采購設備的性能指標。

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